판매용 중고 LAM RESEARCH Alliance 9100 PTX #293666065
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ID: 293666065
웨이퍼 크기: 8"
빈티지: 2000
Oxide etcher, 8"
Non-functional
Robot: MAG 7 (Dual end effector)
(2) Chambers
Wafer type: Notch, 26 slots
EMO Guard ring
SECS/GEM Interface
TCP9100 Process module
Pendulum throttle valve
VAT 65 Gate valve
65046-PH52-ADE1 VAT Step motor
650PM-36PM-1004 VAT Adaptive pressure controller
Gas panel exhaust flange
Gas Pallet Chamber 1 and 2:
Ar (500 sccm, Analog) FC-780C
O2 (2000 sccm, Analog) FC-780C
C4F8 (50s ccm, Analog) FC-780C
CHF3 (100 sccm, Analog) FC-780C
C5F8 (50 sccm, Analog) FC-780C
CH2F2 (100 sccm, Analog) FC-780C
O2 (30 sccm, Analog) FC-780C
CO (200 sccm, Analog) FC-780C
Power supply: 208 VAC, 60 Hz
2000 vintage.
LAM RESEARCH Alliance 9100 PTX는 매우 정확한 에칭 및 애싱 프로세스를 제공하도록 설계된 고급 에처/애셔입니다. Alliance 9100 PTX는 RF (Radio Frequency) 흥분 및 마이크로파 흥분을 포함한 다양한 플라즈마 소스를 활용하여 단일 도구에서 최고 수준의 정확성과 효율성을 제공합니다. LAM RESEARCH Alliance 9100 PTX는 생산의 최대 성능 및 신뢰성을 위한 모듈식 설계를 갖추고 있습니다. 공구 컴포넌트는 매우 정밀한 정렬 및 반복 (repeatability) 을 위해 설계되었으며, 에칭 (etching) 및 애싱 (ashing) 프로세스에서 최대의 정확성과 균일성을 제공 할 수 있습니다. 또한 에치 (etched) 또는 재 (ashed) 가 필요한 재료에 따라 두 가지 프로세스 변형을 제공합니다. 첫 번째는 저압 에처/애셔이고 두 번째는 APP (Atmospheric Pressure Plasma) 시스템입니다. 이를 통해 기계는 폴리머 (polymer), 폴리 실리콘 (polysilicon) 및 비 실리콘 장치 (non-silicon device) 를 포함한 다양한 재료에 가장 적합한 프로세스를 제공 할 수 있습니다. Alliance 9100 PTX 는 사용자 지정 기능이 뛰어난 툴로서, 프로세스 매개 변수를 사용자 정의하여 정확한 요구 사항을 충족할 수 있습니다. 또한 LAM 의 독점 EPT2 프로세스 제어 시스템과 통합하여 고급 프로세스 제어 (process control) 에 대한 액세스를 제공하여 여러 실행에서 반복 가능하고, 최적화된 etching 및 ashing 결과를 얻을 수 있습니다. 다양한 요구 사항을 충족하기 위해 다양한 에칭 및 애싱 구성도 사용할 수 있습니다. 전반적으로 LAM RESEARCH Alliance 9100 PTX는 업계 최고의 제조업체의 매우 정확한 에칭 및 애싱 (ashing) 요구에 이상적인 솔루션입니다. EMC DL 시리즈는 다양한 소재 및 애플리케이션 요구 사항에 대한 탁월한 정확성과 반복성을 제공하여 기대치를 일관되게 능가하는 안정적인 결과를 제공합니다 (영문). 또한 탁월한 유연성과 프로세스 제어 (process control) 기능을 통해 사용자는 프로세스 매개변수를 신속하게 조정하여 반복적으로 최적화된 결과를 얻을 수 있습니다.
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