판매용 중고 LAM RESEARCH Alliance 4720 #293764317

LAM RESEARCH Alliance 4720은 반도체 산업의 패턴 및 처리에 사용되는 최첨단 에처 및 애셔입니다. 얼라이언스 4720 (Alliance 4720) 은 이중 로드 잠금 (load-locked) 기능을 통해 처리량을 향상시키고 작은 공간에서 효율적인 처리를 위한 적은 설치 공간을 확보합니다. 최대 8 개의 고속 응답, 중형 용량 펌프 및 정확하고 효율적인 처리를 위해 이중, 중형 E-beam 소스를 갖춘 고성능 펌핑 시스템을 갖추고 있습니다. LAM RESEARCH Alliance 4720은 또한 광학 분광학, 종점 기술, 플라즈마 임피던스, 기판 온도 측정 등 다양한 내부 프로세스 모니터링 및 제어 도구를 제공합니다. 또한 24- 존 (24-zone) 프로세스 제어를 통해 심층적인 프로세스 조정을 통해 유연한 레시피 최적화를 수용할 수 있습니다. 또한, 독점적 인 SmartDose 기술은 추가 도량형 도구가 필요하지 않고도 엔드포인트 제어를 개선합니다. 얼라이언스 4720 (Alliance 4720) 은 중심에 불과 900 나노미터, 영역에는 600 나노미터 사이의 입자 간격이 매우 큰 매우 정확한 패턴화를 가능하게하도록 설계되었습니다. 4720은 여러 개의 프로세싱 챔버를 지원하므로 에칭, 애싱, 사이드월 패시베이션과 같은 여러 처리 옵션을 사용할 수 있습니다. 독특한 챔버 디자인은 프로세스 챔버 내에서 가스 흐름 및 플라즈마 균일성을 극대화하여 처리량을 극대화하고 균일성을 산출합니다. LAM RESEARCH Alliance 4720은 긴 펄스 너비, 저주파 부지 및 단단한 프로세스 셔터를 갖춘 강력한 플라즈마 격리 특성을 나타냅니다. 견고하고 효율적인 구성을 통해 재료를 처리할 때도 발열과 냉각 시간을 단축할 수 있습니다 (영문). 마지막으로 Alliance 4720에는 저압 엔클로저, 아크, 모션 및 공기 격리와 같은 여러 가지 안전 기능과 장기 안정성 및 프로세스 안정성에 대한 몇 가지 다른 주요 성능 이점이 있습니다. 요약하면, LAM RESEARCH Alliance 4720은 반도체 산업에서 매우 효율적이고, 정확하며, 효과적인 패턴을 제공하도록 설계된 고급 에처 및 애셔입니다. 이중, 중형 E-beam 소스, 다중 프로세싱 챔버, 고성능 펌핑 시스템 및 다중 안전 기능이 있습니다. 가변 레이어 (Variable Layer) 재료를 처리할 수 있는 능력과 강력한 성능 덕분에 Alliance 4720은 반도체 업계에 매우 적합한 제품입니다.