판매용 중고 LAM RESEARCH Alliance 4520 XL #9255806

LAM RESEARCH Alliance 4520 XL은 반도체 장치에 정확하고, 효율적이며, 반복 가능한 에칭 및 애싱 프로세스를 제공하도록 설계된 고성능 에처/애셔입니다. 이 장치는 에치 (etch) 및 애쉬 (ash) 기능이 뛰어난 고정밀 (high-precision) 목욕을 통해 안정적인 장치 성능을 위한 반복 가능한 프로세스를 제공합니다. 이 에처/애셔는 전통적인 에칭 및 전기 화학 애싱 (ECA) 프로세스를 모두 사용하여 제품 수율이 가장 높은 우수한 결과를 제공합니다. 얼라이언스 4520 XL은 에치 (etch) 및 애쉬 (ash) 프로세스를 반복 할 수 있도록 초저 왜곡 욕조 디자인과 같은 고급 기능을 제공합니다. 소형 목욕 크기는 균일 한 에치 및 재 결과의 전달을 향상시키는 데 사용됩니다. 이 장치는 또한 업계 최고의 이중 경사 유리 뚜껑을 특징으로하며, 이는 기존 모델을 사용할 때 종종 예측할 수없는 유리 부력 범위를 최소화합니다. 이를 통해 전체 목욕에 균일하게 우수한 에치 및 재 결과를 얻을 수 있습니다. LAM RESEARCH Alliance 4520 XL은 또한 독특한 플라즈마 기반 에치 앤 애쉬 (etch and ash) 공정을 특징으로하며, 이 공정은 고에너지 공정을 활용하여 더 나은 에치 앤 애쉬 결과를 덜 제공합니다. 이 프로세스는 고객의 요구에 맞게 확장할 수도 있습니다. 에처/애셔 (etcher/asher) 는 또한 처리량을 높여주는 빠른 자동화 프로세스를 자랑하여 수동 개입이 필요하지 않습니다. Alliance 4520 XL의 추가 기능에는 강력한 제어 시스템이 포함되어 있어 온도, 가스 농도, 전력, 노출 시간 등 프로세스 매개 변수를 정확하게 제어 할 수 있습니다. 이 장치는 또한 입력 매개변수에 대한 피드백을 제공하여 프로세스가 정확하게 유지되도록 합니다. 이 피드백은 또한 변칙적인 etch 및 ash 프로세스를 감지하고 수정하는 데 사용됩니다. 이 에처/애셔 (etcher/asher) 는 또한 컨트롤 패널에서 트리거할 수있는 자체 청소 시스템을 갖춘 손쉬운 유지 관리를 위해 설계되었습니다. 또한 간단한 부품 교체 프로세스를 통해 다운타임을 최소화하고 가동 시간을 최대화할 수 있습니다. LAM RESEARCH Alliance 4520 XL은 정확하고 반복 가능한 에치 및 애쉬 프로세스가 필요한 응용 프로그램에 이상적인 솔루션입니다. 즉, 고급 기능과 안정적인 성능을 통해 전체 운영 프로세스 전반에 걸쳐 일관된 디바이스 생산성을 확보할 수 있습니다.