판매용 중고 LAM RESEARCH Alliance 4.1 9400 SE #293591992

LAM RESEARCH Alliance 4.1 9400 SE는 고정밀 웨이퍼 처리를위한 고급 etcher/aser입니다. 대용량 생산을 위해 설계된 이 장비는 고급 프로세스 제어 (Advanced Process Control) 와 빠르고 안정적인 결과를 위한 최적화된 설계를 갖추고 있습니다. 이 시스템은 RIE, CMP 및 etch와 같은 다양한 프로세스에 적합합니다. LAM RESEARCH Alliance (LAM RESEARCH Alliance) 4.1 9400 SE는 자동 조정 기능을 갖춘 맞춤형 에칭 솔루션으로, 사용자는 프로세스 매개변수를 신속하게 최적화하고 전체 기판에서 균일성을 보장할 수 있습니다. 고화질 광학 센서 (Optical Sensor) 와 실시간 반응 분석 (Real-Time Reaction Analysis) 뿐만 아니라 2 ~ 8 개의 제어 영역을 소유하는 빠른 스캐닝 헤드가 장착되어 있습니다. 신속한 프로세스 초기화 및 튜닝을 통해 다운타임을 줄여 대용량 (대용량) 생산에 적합합니다. LAM RESEARCH Alliance 4.1 9400 SE는 또한 비활성 환경 및 최적화 된 가스 전달과 함께 에칭 가스에 대한 정확한 용량 및 방향 제어를 제공합니다. 이를 통해 정밀한 처리를 통해 수직 (vertical) 및 수평 (horizontal) 방향으로 정확한 목표와 반복 가능한 결과를 전달할 수 있습니다. 또한, 에치 레시피에 유연성을 부여하고 중요한 프로세스 매개변수를 조정합니다. LAM RESEARCH Alliance 4.1 9400 SE의 프로세스 제어는 효율적이고 반복 가능한 웨이퍼 처리를 가능하게 하며 프로세스 관리 향상을 위해 풀 타임 온보드 MES (Manufacturing Execution Unit) 도 갖추고 있습니다. 모듈식 (modularity) 을 고려하여 설계되었으며, 빠르고 쉽게 업그레이드할 수 있을 뿐만 아니라 기존 프로세스에 효율적으로 통합할 수 있습니다. LAM RESEARCH Alliance 4.1 9400 SE는 업계 최고의 하드웨어와 소프트웨어를 사용하여 초정밀 웨이퍼 처리를 위해 처리량 및 정밀 제어를 극대화합니다. 이 제품은 대용량 생산을 위한 비용 효율적이고 안정적인 솔루션으로, 업계 최고의 지원 시스템을 통해 보완됩니다. 이 도구는 고급 기능과 정확한 제어를 통해 대량의 초고정밀도 웨이퍼 (wafer) 를 현실로 만듭니다.