판매용 중고 LAM RESEARCH AE 480 #9214116

LAM RESEARCH AE 480은 최고 수준의 프로세스 제어, 정확도 및 웨이퍼 처리량을 달성하도록 설계된 고급 etcher/asher 장비입니다. 강력한 에칭 및 베이킹 기능이 장착 된 AE 480은 poly-Si 게이트 에칭, 소스/드레인 에칭, 웨이퍼 클리닝 등 다양한 반도체 어플리케이션을 처리 할 수 있습니다. LAM RESEARCH AE 480은 완전히 자동화된 프로세스와 최첨단 프로세스 제어 기술을 통해 고객이 최상의 품질, 생산량, 처리량을 제공할 수 있도록 지원합니다. AE 480은 고유하고 효율적이며 비용 효율적인 웨이퍼 처리 및 스토리지 솔루션을 제공하는 50-wafer load-lock 시스템을 갖추고 있습니다. 수동 개입없이 etcher/asher로 이동 할 수있는 대형 "1/4 컷" 웨이퍼 (직경 최대 12 인치) 를 처리 할 수 있습니다. LAM RESEARCH AE 480은 또한 고급 실시간 프로세스 제어 장치를 갖추고 있으며, 프로세스 사이클 전반에 걸쳐 최적화 된 챔버 압력, 전압 및 가스 흐름을 유지할 수 있습니다. AE 480 etcher/asher는 탁월한 에칭 및 베이킹 처리량을 제공하는 유연한 이중 주파수 HF 소스로 구동됩니다. 모듈식 설계를 통해 고객은 특정 제조 요구 사항을 충족할 수 있도록 시스템을 사용자 정의할 수 있습니다 (영문). 또한, 고급 공정 가스 (Advanced Process Gase) 전달 기능은 높은 에치 속도를 유지하는 반면, 고온 베이크 기능은 모든 웨이퍼 레이어에서 최대 균일성을 보장합니다. LAM RESEARCH AE 480은 또한 고객에게 향상된 서비스 기능을 제공합니다. 이 기계는 개방형 아키텍처로 설계되었으며, 로보틱 (robotic) 및 재입고 시스템, 열 시스템, 컨베이어 (conveyor) 와 같은 타사 구성 요소로 쉽게 업그레이드 및 구성할 수 있습니다. 또한, AE 480 은 사내/원격 진단 및 유지 보수 기능을 모두 지원하는 고객 친화적인 네트워킹 구조를 갖추고 있습니다. LAM RESEARCH AE 480 (RESEARCH AE 480) 은 고급 기능과 강력한 도구 설계 덕분에 모든 반도체 제조 요구를 충족하는 데 도움이 되는 탁월한 성능을 제공합니다. AE 480 은 탁월한 프로세스 반복 능력, 고급 프로세스 제어 기능, 높은 처리량 (How-Throughput) 기능을 통해 최고의 제품 품질 및 생산량을 달성하는 데 이상적인 Echer/Asher 입니다.