판매용 중고 LAM RESEARCH A6 #293821538

LAM RESEARCH A6은 다양한 응용 프로그램에 빠르고 안정적인 에칭 및 애싱 기능을 제공하는 멀티 챔버, 멀티 프로세스 에처/애셔입니다. A6은 견고하고, 양보력이 높으며, 신뢰할 수 있는 장비로, 대형이나 소형의 기판 크기에 효과적입니다. 이 시스템은 2 개의 독립적 인, 온도 및 압력 제어 공정 챔버로 구성되며, 더 큰 기판에는 크고 넓은 처리 챔버, 더 작은 기판에는 여러 개의 작은 챔버가 적합합니다. 이렇게 하면 응용 프로그램의 요구에 따라 가변 기판 처리가 가능합니다. 이 장치는 독립적으로 프로그래밍 가능한 가스 흐름 (gas flow) 과 압력 (pressure) 을 갖추고 있어 다양한 재료에서 프로세스 흐름을 최적화하고 빠른 주기 시간을 허용합니다. 또한, 기계는 챔버 당 최대 4 개의 기판 홀더를 사용하여 기판 처리의 최대 유연성을 허용합니다. LAM RESEARCH A6에는 자동 챔버 플러싱, 다중 챔버 우회, 이중 송풍기 우회, 챔버 측 벽 로딩 및 언로드와 같은 고급 챔버 설계 특성도 포함됩니다. 또한 습식 (wet) 프로세스와 건식 (dry) 프로세스를 모두 A6으로 사용할 수 있으므로 운영 비용을 절감하고 수율을 늘릴 수 있습니다. LAM RESEARCH A6은 CF4, SF6, NF3 및 Ar과 같은 광범위한 가스와도 호환됩니다. 마지막으로, A6에는 안정적이고, 효율적이며, 사용자 친화적인 멀티 챔버 프로세스 최적화 기능이 내장되어 있습니다.