판매용 중고 LAM RESEARCH A6 9608 PTX #9410068

LAM RESEARCH A6 9608 PTX etcher/asher는 반도체 및 마이크로 머신 제품의 정밀 제조에 사용되는 산업용 플라즈마 에칭 도구입니다. 9608 PTX는 화학 에칭 (eching) 을 특징으로하며, 반응성 가스를 사용하여 플라즈마 (plasma) 로 알려진 물리적 형태의 에너지를 사용하여 에칭과 결합합니다. 이 툴은 프로세스 제어 (process control) 와 에칭 일관성 (etching consistency) 의 뛰어난 조합을 제공하며, 소스 웨이퍼에서 타겟 웨이퍼로 재료를 신속하게 전송하여 높은 처리량을 달성합니다. 9608 PTX의 견고한 디자인은 가혹한 산업 환경에서 반복적인 운영에 적합합니다. 이 시스템은 멀티 챔버 (multi-chamber) 아키텍처로 제작되어 다양한 에칭 프로세스를 지원합니다. 3 개의 공정 챔버, 프리 에치 챔버, 에치 챔버 및 포스트 에치 챔버가 장착되어 있습니다. 각 챔버는 수많은 에칭 옵션과 압력, 흐름 속도, 온도 등의 매개변수를 조정하는 기능을 제공합니다. 다시 순환하는 물 경로는 긴 실행 중에도 에칭 (etching) 과정에서 온도 유지 관리를 보장합니다. 효율적인 9608 PTX 시스템은 여러 프로세스를 단일 에칭 작업으로 긴밀하게 통합하도록 설계되었습니다. 여기에는 효율적인 다중 단계 배치 (multi-stage batch) 작업을 위한 고급 자동화가 포함되며, 프로세스 레시피는 메모리에 저장되며, 향후 사용을 위해 신속하게 리콜됩니다. 이 시스템에는 프로세스 레시피 지침, 실시간 모니터링, 장애 감지 (fault detection) 및 자동 차단 기능이 장착되어 있어 제품의 품질을 보장합니다. 또한, 이 툴은 프로세스 개선 및 자재 비용 절감을 위한 데이터 수집/전달 (forward) 보고 기능을 지원합니다. 9608 PTX는 컴팩트하고 안정적이며 전력 소비가 적습니다. 공정은 오염없이 안전하게 수행됩니다. 일관된 처리량과 최적의 제품 품질을 위해 LAM 리서치 (LAM RESEARCH) 는 기술 지원 및 제품 교육, 그리고 포괄적인 진단 툴 및 예측 유지 관리 프로그램을 제공합니다. 유연하고 유지 관리가 간편한 툴은 업계 최고의 성능, 프로세스 및 운영 최적화 (Operation Optimization) 기능을 제공합니다.