판매용 중고 LAM RESEARCH A4 9400 #9198122

LAM RESEARCH A4 9400은 대용량 생산 응용 프로그램을 위해 설계된 에처/애셔입니다. 웨이퍼의 에칭 및 x-ray 리소그래피, 아르곤-플루오 라이드, 염소-기반 에찬트 (etchant) 와 같은 에친트로 기타 기질을 포함한 다양한 에칭 프로세스를 수행 할 수 있습니다. etcher/asher는 에칭 및 청소 모두에 사용되는 단일 진공 챔버를 통합합니다. 진공 압력은 5 ~ 10 mTorr 범위입니다. 새로운 "디자인 '은 기판 표면 의 독특 한 열 조절 을 포함 하여" 에칭' 및 청소 과정 을 완전 히 통합 하여 제어 한다. A4 9400 은 자동 설정 조정이 가능한 완전 자동화 프로세스, 에칭 프로세스 최적화에 사용할 수 있는 에칭 시간 (etching time) 및 매개변수 (parameter) 선택, 직접 컴퓨터 제어 스테이션 (direct computer control station) 등 다양한 옵션과 기능을 제공합니다. LAM RESEARCH A4 9400은 또한 여러 개의 에친 헤드를 자랑하며, 이는 다른 기판 및 다른 응용 프로그램을 처리하도록 개별적으로 조정할 수 있습니다. 내장형 RF 생성기는 최상의 성능을 제공하도록 최적화되었으며, 다양한 에칭 (etching) 요구 사항에 맞게 간단히 조정할 수 있습니다. A4 9400에는 NEBB Clean 인증이 적용되어 일관되고 안정적인 청소 결과가 제공됩니다. 안전이 완전히 통합된 시스템은 모든 작업이 안전 규정 내에서 수행되도록 합니다. LAM RESEARCH A4 9400은 대용량 생산 응용 프로그램을위한 신뢰할 수있는 고성능 에처/애셔입니다. 이 시스템은 품질 저하 없이 반복 가능하고, 안정적이며, 안전한 에칭을 제공할 수 있습니다. 첨단 통신 인터페이스 (Advanced Communication Interface) 를 통해 다양한 OEM 시스템과 기타 시스템 구성 요소를 손쉽게 통합할 수 있으므로 다양한 산업/연구 환경에 적합한 솔루션이 될 수 있습니다. 또한, 통합 안전 시스템은 안전 규정 내에서 모든 에칭 작업이 수행되도록 보장합니다.