판매용 중고 LAM RESEARCH A4 9400 PTX #9224718
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ID: 9224718
Process module
Includes:
VAT 65 Gate valve with controller
ADIXEN / ALCATEL 1300M Turbo pump with ADIXEN ACT 1300 controller
VME Chassis: 021
Bias match assembly: 018
ESC Frosted TCP window: 8"
TCP Match dual endpoint detector module
ESC Power supply.
LAM RESEARCH A4 9400 PTX는 다양한 재료에 대한 빠르고, 정확하고, 정확한 패턴 전송을 용이하게하도록 설계된 고급, 고성능, 정밀 에처/애셔입니다. 에처/애셔 (etcher/asher) 는 프로그래밍 가능한 프로세스 제어 기능을 갖추고 있으며, 사용자에게 최적의 결과를 얻기 위해 프로세스 매개변수를 사용자 정의할 수있는 기능을 제공합니다. A4 9400 PTX etcher/asher에는 기존의 스퍼터 에처보다 높은 수준의 정확도, 속도 및 패턴 충실도를 제공하는 고급 통합 이온 밀링 시스템이 포함되어 있습니다. 이온 밀링 시스템은 가변 동력 RF 발전기 (variable power RF generator) 를 장착하고 저압 플라즈마 한정 챔버 (clasma-limined chamber) 에 넣어 섬세한 구조와 매우 정밀한 패턴을 가져올 때 더 큰 유연성을 제공합니다. LAM RESEARCH A4 9400 PTX에는 고유 한 샘플 상대 동작 스테이지가 장착되어 있어 패턴 에치의 제어를 강화하고 위치 정밀도를 높일 수 있습니다. 이 기능은 정밀 정렬 및 패턴 등록이 중요한 대규모 샘플 (scale sample) 작업에 관여하는 사용자에게 특히 매력적입니다. A4 9400 PTX는 총 가스 개방 시간, 증착률, 입사각, 침식각, 시간 지연 등 다양한 고급 프로세스 매개 변수를 통합합니다. 이러한 기능을 사용하면 etcher/asher 를 특정 프로세스 요구 사항에 맞게 조정할 수 있으므로 패턴 전송 정확도가 우수합니다. LAM RESEARCH A4 9400 PTX는 로드 록, 틸트 장착 샘플 홀더 및 세그먼트 정전기 처킹 플레이트를 포함한 다양한 액세서리를 제공합니다. 이렇게 하면 다양한 샘플 크기와 형상이 유연해집니다. 이 시스템은 2.0KW 전원 공급 장치 (높은 신뢰성 및 프로세스 조건에 대한 정확한 제어를 위해 설계) 로 더욱 향상되었습니다. A4 9400 PTX는 패턴 전송 및 샘플 준비 프로세스에서 정밀도, 효율성, 품질을 보장하는 고도의 etcher/asher입니다. 사용자는 다양한 프로세스 제어 (process control) 기능을 제공하여 특정 요구 사항에 따라 etcher/asher 를 조정할 수 있습니다. 액세서리 및 기능의 범위는 LAM RESEARCH A4 9400 PTX를 고정밀 패턴 생산 및 샘플 준비에 이상적인 선택으로 만듭니다.
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