판매용 중고 LAM RESEARCH A 9608 PTX #9235819

LAM RESEARCH A 9608 PTX는 강력한 기능과 장기적인 신뢰성으로 인해 반도체 (Semiconductor) 업계에서 널리 사용되는 에처 또는 애셔입니다. 고정밀, 고속, 생산 수준 에칭 또는 재싱을 위해 설계되었습니다. LAM RESEARCH A9608 PTX에는 최저의 비용으로 최고 수준의 결과를 얻을 수 있도록 고급 모션 제어 (motion control) 기능을 갖춘 완전 자동화 프로세스 시퀀스 (fully automated process sequence) 와 같은 고급 기능이 제공됩니다. 이 에처 (etcher) 는 순차적 패터링 (sequential pattering) 과 같은 복잡한 다단계 에칭 프로세스에 적합하며, 이 과정에서 위상 사이를 빠르고 정확하게 이동할 수 있습니다. 9608 PTX는 또한 경사, 메모리 깊이 드릴링, 패턴화와 같은 생산 수준 프로세스에 적합합니다. A9608 PTX에는 고유한 자동 기판 로딩 (automated substrate loading) 장비가 장착되어 있어 신속한 도구 준비 및 기판 처리가 가능합니다. 이 시스템을 사용하면 온도 조절 (temperate control) 및 패턴 인식 (pattern recognition) 을 포함하여 기판 에칭 중 최대 효율로 etcher가 작동하도록 빠르고 효율적으로 작업할 수 있습니다. LAM RESEARCH A 9608 PTX에는 자체 진단 장치 (자체 진단 장치) 가 내장되어 있어 오류 또는 오작동을 자동으로 검사하여 필요에 따라 적절한 유지 관리 및 수리 작업을 수행할 수 있습니다. LAM RESEARCH A9608 PTX에는 폴리실리콘 웨이퍼 에치 머신 (polysilicon wafer etch machine) 과 고속 웨이퍼 핸들러 (High Speed Wafer Handler) 가 장착되어 있습니다. 에처에는 고정밀 광학 포지셔닝 툴과 4축 정렬 에셋 (Alignment Asset) 이 장착되어 있어 장갑과 기울기 각도를 정확하게 정렬하여 정확하고 반복 가능한 에칭 결과를 얻을 수 있습니다. 9608 PTX는 고정밀 광학 포지셔닝 모델 (optical positioning model), 4축 정렬 장비, 고속 웨이퍼 핸들러 (wafer handler) 덕분에 다양한 에칭 또는 애싱 작업을 수행할 수 있습니다. A9608 PTX는 매우 신뢰할 수 있는 도구로서, 프로세스 반복성과 작동 용이성을 위해 설계되었습니다. 우수한 품질, 반복 가능한 결과를 제공하는 한편, 자동화된 자가 진단 툴을 제공하여 운영 비용을 절감할 수 있습니다.