판매용 중고 LAM RESEARCH 9608 PTX #9207997

LAM RESEARCH 9608 PTX는 반도체 장치 제조에 사용되는 고급 에처/애셔입니다. 하이엔드 에칭 (etching) 및 애싱 (ashing) 성능을 제공하며 뛰어난 기능과 디바이스 수준 기능을 제공합니다. LAM 9608 PTX에는 사진 리토 그래피 소스와 결합 된 회전 가능한 최종 이펙터 플랫폼이 포함 된 원자로 챔버 (reactor chamber) 가 있습니다. 이것 은 "플라즈마 '를 전체 기판 에 정밀 하게 전달 할 수 있게 해 주며, 설계 의 정확 한 본 을 이루게 하고, 그 결과 0.05" 미크론' 의 작은 구조 를 만들어 낸다. LAM LAM RESEARCH 9608 PTX는 고급 서브 -50nm 프로세스의 요구를 충족하도록 설계되었습니다. 챔버 내에 8 구역 온도 조절이 있으므로 온도 분포의 제어 및 균일성이 향상됩니다. 이를 통해 에칭 (etching) 및 애싱 (ashing) 프로세스를 정확하게 제어하여 더 높은 수준의 정확성과 균일성을 얻을 수 있습니다. 또한 LAM 9608 PTX 는 다양한 에치 (etch) 기술을 지원하는 광범위한 프로세스 조건을 가지고 있어 프로세스 개발 (process development) 또는 추가 하드웨어 (hardware) 가 필요하지 않습니다. 또한 유해 활성 가스 센서, 안전 및 인터 록 (safeties and interlock), 작동 중 위험한 가스가 방출되지 않도록 내장형 가스 필터 (gas filter) 와 같은 여러 가지 주요 안전 기능이 있습니다. 전반적으로 LAM RESEARCH 9608 PTX는 반도체 장치 제조에 사용되는 고도의 etcher/asher입니다. 높은 수준의 안전 (Safety) 과 광범위한 프로세스 조건과 함께 뛰어난 정밀도를 제공합니다. 궁극적으로, 이를 통해 하이엔드 에칭 (etching) 및 애싱 (ashing) 성능이 일관되게 제공되므로 고품질 반도체 장치가 생산됩니다.