판매용 중고 LAM RESEARCH 9600 #9354013

LAM RESEARCH 9600 Etcher/Asher는 완전히 자동화된 초고속 처리량, 최첨단 에처 및 애셔입니다. 광범위한 기판을 처리 할 수있는 멀티 챔버 장비입니다. 복잡하고 정확한 기능의 생산은 9600 (9600) 이 매우 잘하기 위해 만들어진 것이며, 긴 프로세스 자동 실행 시간을 유지합니다. LAM RESEARCH 9600은 여러 레시피 종속 프로세스를 동시에 지원하도록 설계되었습니다. 이는 가변 (variable) 또는 다른 프로세스가 연속적으로 실행되어야 하는 제조 환경에서 매우 유용합니다. 9600은 에칭, 패시베이션, 어닐링과 같은 세 가지 주요 프로세스 중에서 선택할 수 있는 유연성을 제공합니다. 이러한 유연성은 4 개의 통합 프로세스 챔버 (process chamber) 에 의해 활성화되며, 각 프로세스는 최대 4 개의 웨이퍼에 대해 개별 프로세스를 수행 할 수 있습니다. 에치 챔버는 플루오린, 삼염화 붕소, 산소, 삼플루오린화 질소, 6 불화 황, 이산화질소와 같은 여러 화학 가스를 사용할 수 있다는 점에서 독특합니다. 수동실 (passivation chamber) 은 증기 화학 공정을 수행하도록 설계되었으며, 이 공정은 웨이퍼를 열, 습도, 화학 오염으로부터 보호 층으로 처리합니다. 최대 처리량을 제공하기 위해 LAM RESEARCH 9600에는 수직 (vertical) 및 수평 (horizontal) 전송 메커니즘이 모두 장착되어 있습니다. 수평 전송 (horizontal transfer) 옵션은 자동화된 로드/언로드 플랫폼으로, 프로세스 챔버 간에 재료를 빠르게 이동할 수 있습니다. 이것은 큰 배치 크기를 다룰 때 특히 유용합니다. 9600은 각 공정 챔버 전체에서 온도, 압력 및 가스 흐름에 대한 초정밀 제어를 제공합니다. 이 정확한 제어를 통해 깊이 (depth) 와 너비 (width) 공차를 사용하여 매우 정확한 피쳐를 생성할 수 있습니다. 통합 도량형 모니터는 전체 시스템에 걸쳐 프로세스 매개 변수를 추적하여, 더 높은 수율, 더 적은 주기 시간 (cycle time), 더 나은 프로세스 최적화 기능을 제공합니다. LAM RESEARCH 9600은 업계에서 검증된 Linux® 운영 장치를 갖춘 강력한 x86 기반 CPU로, 최대 200개의 레시피를 관리할 수 있습니다. 안정적이고 반복 가능한 결과는 수작업을 최소화하면서 최고의 에치 (etch) 및 수동화 (passivation) 품질을 보장합니다. 9600은 안정적이고 효율적인 etcher/asher가 필요한 사람들을 위한 강력한 솔루션입니다. 다중 챔버 머신 (multi-chambered machine), 정밀 제어 (precision control) 및 자동 로드/언로드 플랫폼은 오늘날의 복잡한 에칭 및 수동화 프로세스의 요구를 충족시키는 데 필요한 기능을 제공합니다.