판매용 중고 LAM RESEARCH 9600 #9243611

LAM RESEARCH 9600은 집적 회로 제작에서 반도체 웨이퍼 및 기판을 에칭, 수동화 및 청소하도록 설계된 고정밀 에처/애셔 (etcher/asher) 장비입니다. 이 시스템은 멀티스테이지 프로세스와 웨이퍼 레벨 데이터 분석 (Wafer Level Data Analysis) 및 추적 (Traceability) 에 최적화된 소프트웨어 시스템 (Software System) 을 포함하여 뛰어난 기본 정확도의 정밀한 재료 처리 작업을 가능하게 하는 다양한 기능을 갖추고 있습니다. 9600은 극적 인 구조 분해능과 반복성으로 최대 6 "(최대 1.5" m 두께) 의 기질을 처리 할 수 있습니다. 통합 마이크로 프로세서 조절 가스 제어 및 분배 장치 (Dispensing Unit) 는 기계 매개변수와 정확한 화학 전달을 정확하게 제어합니다. 이 툴은 정확한 화학적 전달, 정확한 마스킹 작업, 최첨단 Wafer 수준 데이터 분석과 관련하여 탁월한 성능을 제공합니다. LAM RESEARCH 9600은 기술적으로 가장 향상된 반도체 재료 처리 응용 프로그램을 위해 설계되었습니다. 자동 화학 전달, 정확하고 반복 가능한 온도 제어, 정확하고 제어 된 화학 온도, 정확하고 통제 된 가스 압력, 정확하고 제어 된 전력 출력을 지원합니다. 이 에처/애셔 에셋에는 매우 정밀한 듀얼 헤드 가스 전달 모델, 매우 정확한 자동 정렬 장비, 그리고 9600 용으로 특별히 개발 된 다양한 특허 및 고급 에칭, 수동화 (passivating) 및 클리닝 레시피 등 다양한 고유 한 기능이 장착되어 있습니다.. 정확하고 반복 가능한 결과를 제공하기 위해 LAM RESEARCH 9600 (LAM RESEARCH 9600) 은 정교하고 통합된 마이크로 프로세서 제어 운영 시스템을 통합하여 다양한 레시피 및 프로세스 조건에 자동으로 적응합니다. 내부 가스 흐름 제어 장치 (gas flow control unit) 와 고정밀 계측기 (high-precision metering machine) 가 결합하여 에칭, 수동화 및 청소 작업을 정확하게 제어합니다. 9600은 또한 데이터 로깅 및 고급 품질 데이터 분석을위한 고급 소프트웨어 시스템을 제공합니다. 이 도구는 기판 리소그래피의 자동 정렬, 추적 및 고급 품질 제어에 최적화되어 있습니다. 또한 LAM RESEARCH 9600 은 즉시 사용할 수 있는 기능 외에도 설치 옵션과 고급 유지 보수 패키지 (예: 실시간 프로세스 제어, 데이터 분석 기능) 를 제공합니다. 9600은 고급 재료 처리 작업을 위한 안정적이고, 다양하며, 비용 효율적인 솔루션입니다. 고정밀 가스 (high-precision gas) 제공과 고급 소프트웨어 시스템 (advanced software system) 의 조합은 다양한 프로세스 조건에서 신뢰할 수 있고 반복 가능한 결과를 제공 할 수있는 신뢰성이 높은 자산을 제공합니다.