판매용 중고 LAM RESEARCH 9600 #9233030

LAM LAM RESEARCH 9600은 고급 처리 기술을 위한 최고의 유연성 및 성능을 제공하는 etcher/asher입니다. 이 장비는 wafer manufacturing에서 Disk Drive 제품 개발에 이르는 애플리케이션에 적합합니다. 이중 빔 모듈러 프로세스 챔버 (dual-beam modular process chamber) 를 사용하여 모든 패턴을 안정적이고 효율적으로 처리 할 수있는 통합 etcher/asher입니다. LAM 9600은 최첨단 공정 챔버 (state-of-art process chamber) 를 특징으로하며, 균일 한 에칭 깊이와 정확한 재료 처리를 제공하여 사용자에게 모든 기판을 에치 또는 애셔 할 수있는 힘을 제공합니다. 이 고급 챔버를 사용하면 프로세스 제어를 극대화하고 전반적인 시스템 유연성을 향상시킬 수 있습니다. LAM LAM RESEARCH 9600 프로세스 모듈은 유도 결합 플라즈마 (ICP), 반응성 이온 에칭 (RIE) 및 전기 화학 에칭 (ECE) 과 같은 고급 프로세스를 갖추고 있습니다. 이러한 프로세스를 통해 오염이 낮고 프로세스 안정성이 향상되어 고품질 웨이퍼 에칭이 가능합니다. 통합 유전체 반응 챔버 (integrated dielectric reaction chamber) 는 플라즈마 전력 제어 및 균일 한 에칭 깊이를 제공하며, 다양한 에칭 및 애싱 작업에 적합합니다. 9600에는 빠른 RF 출력 제어를 위한 단계 및 반복 장치가 장착되어 있습니다. 이 소프트웨어에는 여러 소스 제어 매개변수, 자동 실시간 동적 가스 제어, 높은 정확도 가상 온도 제어, 정교한 프로세스 제어 매핑 머신 등이 포함됩니다. 이러한 기능을 결합하여, 이 도구는 정확하고 반복 가능한 에칭 성능을 제공합니다. 또한 자산은 광학 및 음향 진단 기능을 제공합니다. 통합 옵티컬 (optical) 모델은 에칭 (etching) 및 애싱 (ashing) 프로세스에 대한 지속적인 모니터링을 제공하는 반면, 음향 장비는 에칭 패턴에 대한 비파괴적 테스트를 제공하여 장애나 약점을 감지합니다. LAM LAM RESEARCH 9600은 금속 산화물 에칭, 고 종횡비 에칭 및 금속 라인 패턴을 포함한 다양한 응용 분야에 대해 구성 될 수 있습니다. 이 시스템은 결정 실리콘, 박막 재료, 양자 점 등 다양한 기질을 처리 할 수 있습니다. 또한 여러 옵션 패키지 (예: 이온 소스, 자동 샘플 처리 장치 (옵션)) 와 함께 사용할 수 있습니다. LAM 9600 은 유연한 프로세스 챔버 (process chamber), 종합적인 제어 도구, 고급 진단 기능을 통해 고급 에치/애싱 (etch/ashing) 어플리케이션을 위한 완벽하고 비용 효율적인 솔루션입니다. 이 제품은 최고의 프로세스 제어, 통일된 에칭 깊이, 신뢰할 수 있는 재료 처리 기능을 제공하여 고성능, 비용 효율적인 처리를 보장합니다.