판매용 중고 LAM RESEARCH 9600 #9210314

LAM RESEARCH 9600은 반도체 프로세싱을위한 최첨단 에처/애셔입니다. 또한 습식 (wet) 및 건식 (dry) 에치 (etch) 프로세스를 모두 활용하여 애플리케이션에 가장 적합한 프로세스를 선택할 수 있습니다. 강력하지만 에너지 효율이 높은 펄스 전원 장비를 통해 실리콘, 갈륨 비소 (gallium arsenide) 및 기타 III-V 화합물을 포함한 다양한 기질을 처리 할 수 있습니다. 자동 로드 및 언로드 시스템은 일관된 프로세스 결과를 보장하며 처리량을 향상시킵니다. 9600은 신뢰할 수 있는 고출력, 정밀 프로세스 제어를 위한 precision-kine 컨트롤러, 그리고 정확한 전달을 위한 독립적인 온도 및 압력 모니터링을 결합합니다. 이렇게 하면 프로세스 공차와 반복 가능한 결과가 단단해집니다. 통합 인터페이스는 사용자 친화적이며, 여러 프로세스 레시피를 만들고 저장할 수 있습니다. LAM RESEARCH 9600은 3.2, 5.3 또는 7.7 인치 직경을 선택하여 챔버 크기의 유연성과 같은 추가 이점을 제공합니다. 이렇게 하면 사용자가 애플리케이션의 최적의 공구 크기를 선택할 수 있으며, 시간과 비용을 모두 절감할 수 있습니다. 광범위한 챔버 압력 (chamber pressure) 과 온도 (temperature) 로, 단위는 다양한 증착 및 에칭 응용 프로그램을 처리 할 수 있습니다. 또한 9600은 통합 비상 차단 스위치 (Emergency Shoff Switch) 및 누출 감지을위한 저류 경보 (Low-Flow Alarm) 와 같은 고급 안전 기능을 제공합니다. 또한 기본 진공 모듈 (base vacuum module) (옵션) 을 사용하면 프로세스 오프셋 수정뿐만 아니라 빠르고 원활한 기판 로딩 및 언로딩이 가능합니다. LAM RESEARCH 9600 의 강력한 아키텍처와 성능을 결합한 이러한 기능은 프로세스 처리량 및 반복 가능한 성능을 극대화합니다. 9600은 많은 반도체 처리 응용 분야에 다재다능하고 신뢰할 수있는 에처/애셔입니다. 강력하고 에너지 효율적인 펄스 전원 장치, 다양한 챔버 크기, 온도 및 압력 설정, 고급 안전 (safety) 기능을 갖춘 LAM RESEARCH 9600은 안정적인 프로세스 결과와 최적화된 처리량을 보장합니다.