판매용 중고 LAM RESEARCH 9600 #9186503

LAM RESEARCH 9600은 고정밀 에칭 및 애싱 프로세스를 용이하게하도록 설계된 고급 에처/아스퍼입니다. 9600은 거의 모든 재료를 에칭할 수 있으며, 모듈식 챔버 (modular chamber) 설계를 활용하여 가동 시간을 극대화하고 유연성을 처리합니다. 여러 소스 및 싱크 모듈이 장착되어 있으며, 정확하고 높은 처리량 에칭 및 애싱 (ashing) 프로세스뿐만 아니라 최대 75m 에칭 두께의 깊이 프로파일링과 2nm 미만의 저에너지 애싱 (low-energy ashing) 이 가능합니다. 고급 사이클 컴퓨터 (Advanced Cycle Computer) 와 강력한 소프트웨어 제품군은 완벽한 제어, 정확한 결과를 제공하며, 정확한 사이클 및 프로세스 최적화를 위해 쉽게 구성할 수 있습니다. LAM RESEARCH 9600의 고급 진공 모니터링 및 제어 시스템 (Advanced Vacuum Monitoring and Control System) 은 입자 배출량이 적고 최대 수율을 위해 챔버와 웨이퍼 환경을 깨끗하게 유지하면서 정확한 에칭 및 애싱 조건을 보장합니다. 또한 옵션으로 제공되는 Load Lock (로드 잠금) 을 통해 다른 장비와 완벽하게 통합하여 유연성을 극대화할 수 있습니다. 9600 은 운영 및 제어가 용이하도록 자동화되었으며, 광범위한 사용자 인터페이스 (user interface) 와 프로그래밍 가능한 장치 (programmable device) 와의 인터페이스를 제공합니다. 전반적으로 LAM RESEARCH 9600은 반도체, 포장 및 디스플레이 산업의 요구를 충족하는 안정적이고, 정확하며, 고정밀 에칭/애싱 솔루션을 제공합니다.