판매용 중고 LAM RESEARCH 9600 SE #293758675

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에처/애셔
제조사
LAM RESEARCH
모델
9600 SE
ID: 293758675
웨이퍼 크기: 6"
Metal etcher, 6" Robot type: Shuttle film Molecular sieve Process gases: CL2, BCL3, O2, HE, SF6, N2, CF4 (2) Chambers: Used for etching and glue remover.
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