판매용 중고 LAM RESEARCH 9600 SE #293752314

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에처/애셔

제조사

LAM RESEARCH

모델

9600 SE

장비 세부 정보
리뷰

ID: 293752314

웨이퍼 크기: 6"

Etcher, 6" Robot type: Shuttle film Molecular sieve Gases: CL2, BCL3, O2, HE, SF6, N2, CF4 (2) Chambers: Used for etching and glue remover Missing parts: Load / unload index End point detector.

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