판매용 중고 LAM RESEARCH 9600 FEFG #9183635
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ID: 9183635
빈티지: 1998
Metal etcher
Software version: Version E1.5
CIM: Ok
Main chamber:
(1) Turbo pump 1000 litre with controller
(1) E-chuck
(1) TCP RF Match
(1) Bias RF match
(2) RF Generators
(1) CL2 MFC: 180 sccm
(1) BCL3 MFC: 50 sccm
(1) SF6 MFC: 200 sccm
(1) N2 MFC: 100 sccm
(1) O2 MFC: 250 sccm
(1) Ar MFC: 100 sccm
(1) He UPC: 50 sccm
Strip chamber:
(1) DSQ RF Match
(1) Heater paddle
(1) RF Generator
(1) Auto WVDS controller
(1) O2 MFC: 2000 sccm
(1) N2 MFC: 300 sccm
(1) H2O MFC With controller: 500 sccm
Rinse / Dry:
(1) Spin dryer with vacuum chuck
Transport:
(2) Integrated SMIF
(1) Wafer notch aligner with spatula
(2) Harmonic arm drive assemblies
Currently warehoused
1998 vintage.
LAM RESEARCH 9600 FEFG는 고도의 고급 에처로, 웨이퍼 및 평면 패널 디스플레이 생산을 위해 설계되었습니다. 대용량 (high-volume) 생산을 위한 탁월한 선택이며, 다양한 기능을 갖추고 있어 모든 운영 라인에 이상적인 솔루션이 됩니다. 9600 FEFG는 고정밀 에처로, 금속, 반도체, 안경을 포함한 다양한 물질의 정확한 에칭을 제공합니다. 이 도구는 또한 다양한 깊이와 매우 특정한 모양의 선택적 에칭 (etching) 을 할 수 있습니다. 이 도구는 또한 강력한 프로그래밍성과 높은 처리량을 제공하여 최적의 생산성을 제공하도록 설계되었습니다. LAM RESEARCH 9600 FEFG의 주요 기능은 통합 모션 제어 장비입니다. 이 시스템은 연속적이고, 완벽한 작동과 뛰어난 성능을 보장하며, 에칭의 정밀도 (precision directional) 및 위치 제어 기능을 제공합니다. 모션 제어 장치 (Motion Control Unit) 는 또한 향상된 프로그래밍 기능을 제공하여 작업을 최적화하고 처리량을 높입니다. 또한, 통합 레이저와 결합 된 도구의 고급 광학 (advanced optics) 은 에처 라인이 정확하고 균일하게 에칭되도록 보장합니다. "레이저 '는" 응용 프로그램' 에 따라 다른 "패턴 '으로 에치' 하도록 구성 될 수 있다. "레이저 '는 또한 선 이" 에치' 되고 있는 곳 에 대한 매우 상세 한 "이미지 '를 제공 하여 깊이 의 정확 한 측정 과 미세 한 선 간격 의 정확 한 식별 을 가능 케 한다. 안전 측면에서 9600 FEFG는 비상 정지 기능, 모션 컨트롤 머신 잠금 (Motion Control Machine Lockout) 을 포함한 고급 보호 조치를 제공합니다. 즉, 과다한 위험 요소 없이 안전하게 작업을 수행할 수 있습니다. 또한 이 도구는 매우 직관적인 터치스크린 인터페이스 (touchscreen interface) 를 통해 에처를 쉽고 원활하게 제어할 수 있습니다. 또한 인터페이스에는 에칭 (etching) 프로세스의 세부적인 시각적 표현이 표시되어, 연산자가 시각적 이미지를 에치 (etch) 프로파일과 연관시킬 수 있습니다. LAM RESEARCH 9600 FEFG는 강력하고 신뢰할 수있는 도구로, 웨이퍼 및 평면 패널 디스플레이 생산에 적합합니다. 정밀 제어, 간편한 프로그래밍성, 강력한 안전 기능, 매우 직관적인 인터페이스를 제공합니다. 이것은 9600 FEFG를 모든 생산 라인에서 훌륭한 선택으로 만듭니다.
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