판매용 중고 LAM RESEARCH 9400 #9399063

LAM RESEARCH 9400은 반도체 산업의 엄격한 요구 사항을 충족하도록 설계된 고급 기술 에처/애셔입니다. 생산성 향상, 에칭 (etching), 증착 (deposition) 프로세스를 제공하면서 다양한 기능과 유연성을 극대화할 수 있도록 설계되었습니다. 9400 은 하이엔드 성능과 저렴한 비용으로 운영할 수 있으며, 운영 운영 환경을 최적화하여 비용, 폐기물, 다운타임을 줄일 수 있습니다. LAM RESEARCH 9400 은 최고의 성능과 TCO (소유 비용) 를 제공할 수 있는 다양한 첨단 기술과 기능을 갖추고 있습니다. 이온 빔 전류 (ion beam current) 와 에너지 정밀도 (energy precision) 는 업계에서 타의 추종을 불허하며, 가장 섬세하고 복잡한 층 구조를 가져올 수있는 이상적인 선택입니다. 이 시스템은 자동 프로세스 제어 (Automatic Process Control), 실시간 세트 포인트 조정 (Real-Time Set-Point Adjustment) 및 부품 식별 (Part Identification) 과 같은 여러 기술과 기능을 사용하여 처리 중 정확성과 반복성을 보장합니다. 또한 9400은 LAM의 독점적 인 고온 프로세스 기반 흐름 컨트롤러와 직접 구동 모터를 갖추고 있어 애싱, 에칭, 증착 속도, 효율성, 주기 시간을 최적화합니다. LAM RESEARCH 9400 (LAM RESEARCH 9400) 에는 빠른 프로세스 레시피 변경을 위해 제어 가스 분배를위한 통합 가스 캐비닛과 높은 처리량 가스 혼합 기능이 포함되어 있습니다. 이 시스템은 자동화된 PFC (Process Flow Controller) 를 통해 반도체 업계의 가장 엄격한 요구 사항을 충족하도록 설계되었으며, 부품 크기나 레시피 복잡성에 관계없이 일관된 에칭, 에칭 및 증착 프로세스 조건을 유지합니다. 이 시스템은 우화 (fab outgassing) 및 과도한 입자 생성을 줄이면서 강력하고 안정적인 프로세스 솔루션을 제공하도록 설계되었습니다. 빠른 변경 웨이퍼 로딩 (wafer-loading) 구성은 생산이 중단되지 않도록 보장하며, 챔버 (chamber) 는 유지 보수 및 수리에 쉽게 액세스할 수 있도록 설계되었습니다. 9400은 LAM RESEARCH Comprehensive Process Support Program의 지원을 받아 최고의 성능과 최대 ROI (투자 수익) 를 보장합니다.