판매용 중고 LAM RESEARCH 9400 #9250094

LAM RESEARCH 9400은 고급 etcher/asher 장비입니다. 최첨단 기술 - 웨이퍼 처리를 위한 최적의 수율과 처리량을 제공하도록 설계되었습니다. 광범위한 애플리케이션별 프로세스를 자랑하는 컴팩트하고 처리량이 많은 시스템입니다. 9400 은 최대 수준의 제어 및 유연성을 제공하도록 설계된 확장 가능한 아키텍처를 기반으로 합니다. 고성능 에치 (etch) 알고리즘으로 구동되며, 높은 처리량과 최고 수준의 정확도를 모두 충족할 수 있습니다. 이 장치는 다양한 에칭 매개변수 (etching parameters) 를 처리할 수 있으며, 웨이퍼 전체에 걸쳐 프로세스 성능을 균일하게 유지하기 위해 에치 레이트를 자동으로 조정할 수 있습니다. LAM RESEARCH 9400에는 저압, 2 단계 수직 플레이트 에처가 있습니다. 이러 한 설계 는 공정 "챔버 '를 추가 할 필요 가 없게 하여, 더 컴팩트 한 기계 를 사용 할 수 있게 해 준다. 이 도구는 또한 박스아웃 히터 (box-out heater) 를 사용하여 탁월한 성능과 수율을 제공하는 고급 에치 소스를 제공합니다. 9400 은 프로세스 주기 전반에 걸쳐 프로세스 및 툴 무결성을 보장하는 프로세스 모니터링 자산을 내장하고 있습니다. LAM RESEARCH 9400 (LAM RESEARCH 9400) 은 또한 웨이퍼 전체에서 에칭 프로세스를 모니터링하고 제어 할 수있는 대기 스캐너를 제공합니다. 고급 가스 전달 모델을 통해 9400은 정확하고 반복 가능한 에치 프로파일을 제공 할 수 있습니다. 또한 LAM RESEARCH 9400은 영역 별 질화물 에칭 및 조정 가능한 전류 램프 (ramping) 와 같은 기능을 포함하여 레이어 별 균일성 컨트롤을 통합하여 반복 가능한 프로세스를 보장합니다. 또한 고급 다이 투 다이 (Die-to-Die) 모니터링이 장착되어 더 높은 웨이퍼 수율을 위해 더 나은 프로세스 제어를 제공합니다. 9400 (9400) 은 오늘날의 주요 반도체 생산 기술의 까다로운 요구에 적합한 강력한 에처/애셔 (etcher/asher) 장비입니다. LAM RESEARCH 9400 (LAM RESEARCH 9400) 은 고급 자재 및 기술로 제작되어 웨이퍼 처리를 위한 고수율 및 처리량을 달성하는 데 이상적인 시스템입니다.