판매용 중고 LAM RESEARCH 9400 #9154664

LAM RESEARCH 9400은 LAM RESEARCH Corporation에서 설계 및 제조 한 Etcher/Asher입니다. 반도체 산업에서 웨이퍼를 에치하고 재하는 데 사용됩니다. 9400 은 완전 자동화 시스템이며, 여러 개별 모듈 및 구성요소가 포함되어 있습니다. 규소, 탄소, 구리, 알루미늄 등 다양한 기질 물질을 지원합니다. 이 시스템은 단일 챔버 (single-chamber) 구성과 다중 챔버 (multi-chamber) 구성으로 제공되므로 대규모 생산을 위한 처리량이 향상됩니다. 또한 고객의 특정 애플리케이션 요구 사항을 충족할 수 있는 추가 기능 (예: 통합형 (Integrated) 벤치) 을 통해 사용자 정의할 수 있습니다. LAM RESEARCH 9400에는 웨이퍼 높이와 온도를 관리하는 통합 프로세스 컨트롤러가 있습니다. 그것은 아르곤 (Argon) 과 산소 (Oxygen) 와 같은 에칭 및 재싱에 다양한 가스 종을 사용합니다. 고객 요구 사항에 따라 단상 (single phase) 또는 다상 (multi-phase) 모드로 작동할 수 있습니다. 자동 웨이퍼 처리를 특징으로하며 최대 5 개의 웨이퍼를 동시에 수용 할 수 있습니다. 9400은 청소실 사용을 위해 설계되었으며, 가장 엄격한 ISO14001 표준을 충족하도록 설계되었습니다. 0.1 미크론 크기의 입자를 처리 할 수 있습니다. 또한, 부산물 및 입자 생성을 최소화하기위한 중복 여과 및 가스 정화 시스템이 특징입니다. LAM RESEARCH 9400은 직관적인 명령 방식의 터치스크린 그래픽 사용자 인터페이스 (Graphical User Interface) 를 통해 편리하게 사용할 수 있도록 설계되었습니다. 또한 사용자 정의 프로토콜이 특징이며 매일 유지 보수 작업을 자동으로 수행할 수 있도록 프로그래밍할 수 있습니다. 9400은 에칭 및 재 처리를 위해 안정적이고 효율적인 도구입니다. 고급 자동화 시스템 (Advanced Automated System) 은 높은 수율과 품질 웨이퍼를 보장하며 프로세스 결과도 일관되게 보장합니다. 안전 기능이 내장되어 있어 운영자 (Operator) 와 청소실 (Clean Room) 의 다른 인원의 안전을 보장합니다.