판매용 중고 LAM RESEARCH 9400 #293814142

LAM RESEARCH 9400은 LAM RESEARCH의 최첨단 에처/애셔입니다. 9400은 다양한 고성능 장비로, 모든 유형의 에칭 (etching) 및 애싱 (ashing) 어플리케이션을 처리할 수 있습니다. 검증된 9200 플랫폼을 기반으로 하는 LAM RESEARCH 9400은 고급 다중 계층 자동화, 고밀도 깊이 제어, 고급 이중 챔버 (dual-chamber) 작동을 활용하여 향상된 처리량 기능을 제공합니다. 모든 유형의 에칭 (etching) 및 애싱 (ashing) 애플리케이션을 위한 견고하고 안정적인 플랫폼을 제공합니다. 9400은 공정 챔버 (process chamber) 와 제거 챔버 (purge chamber) 를 갖춘 이중 챔버 설계를 사용하여 처리량을 증가시킵니다. 이 시스템은 자동화된 다중 계층 제어 (multilayer control) 기술을 통합하여 다양한 에칭 및 애싱 (ashing) 작업에 이상적입니다. etching 및 ashing 프로세스를 제어하기 위해 LAM RESEARCH 9400은 LamShare 소프트웨어 패키지를 사용하여 사용자에게 쉽게 작동할 수있는 매우 직관적인 인터페이스를 제공합니다. 또한, 이 장치는 예술 3 축 위치 정확도 (산업 표준보다 높음) 의 상태를 특징으로하며, 이를 통해 정확하고 반복 가능한 결과를 얻을 수 있습니다. 9400은 안정성 등급이 +/-0.25 ° C인 뛰어난 온도 균일성을 자랑합니다. 이 기계는 KOH, H3PO4 및 XeF2 에친트 화학 물질과 호환됩니다. 실리콘 및 갈륨 비소를 포함한 모든 물질을 처리 할 수 있습니다. LAM RESEARCH 9400은 또한 균일 한 에칭 속도와 제어 된 레이어 힘을 제공하여 일관된 결과를 보장합니다. 9400은 친환경적인 도구이며, 제로 압력 펌프 (Zero Pressure Pump) 를 활용하여 에칭 성능을 향상시키고 에너지 비용을 절감합니다. 또한 LAM RESEARCH 9400은 향상된 에칭 정확도를 위한 고급 자외선 (UV) 프로세스 제어를 통해 높은 정확도와 성능을 필요로 하는 제조 환경을 위한 완벽한 선택입니다. 또한 9400의 고급 기능 외에도 가열된 퍼지 매니 폴드 (purge manifold), 안전 인터 록 (safety interlock), 수동 긴급 가스 차단 (manual emergency gas shut) 및 ETCHGUARD ™ 안전 자산과 같은 다양한 안전 기능을 통합하여 운영자에게 추가 마음의 평화를 제공합니다. LAM RESEARCH 9400은 다양한 에칭 및 애싱 응용 프로그램에 적합한 고급 에처/애셔입니다. 향상된 처리량, 고급 3축 위치 정밀도, 고도로 균일한 온도 제어, 다양한 안전 (safety) 기능을 제공하여 고성능 에칭 (etching) 및 애싱 (ashing) 작업에 적합합니다.