판매용 중고 LAM RESEARCH 9400 #293814136

LAM RESEARCH 9400 (LAM RESEARCH 9400) 은 다양한 고급 에칭 및 애싱 프로세스를 허용하는 고급 에처/애셔 장비입니다. 이 시스템은 빠르고 정확한 에치/애쉬 (etch/ash) 프로세스를 지원하는 다양한 온보드 에칭 및 애싱 (ashing) 기술을 갖춘 고급 베벨 웨이퍼 챔버 설계를 사용합니다. 이 장치에는 뛰어난 정확도, 빠른 속도, 최적의 균일성 및 수확을 위해 쿼츠 크리스탈 마이크로 밸런스 (QCM) 가 장착되어 있습니다. 이 기계는 빠르고 안정적인 작업 제어를 위한 정교한 PC 기반 컨트롤러와 다양한 매개변수에 대한 다양한 프로세스 레시피 (process recipe) 를 갖추고 있습니다. 이 도구는 2 "~ 200mm 크기의 다양한 크기를 처리하며, 한 번에 최대 100 개의 웨이퍼를 제공합니다. 에셋은 프로세스 결과를 개선하기 위해 전용 도량형 툴링 (Edicated Metrology Tooling) 과 같은 다양한 고급 액세서리를 사용합니다. 9400 etcher/asher는 건식 에칭 (dry etching) 및 방향 에칭 (directional etching) 과 같은 다양한 에치/애쉬 (etch/ash) 프로세스를 수행하는 데 사용될 수 있습니다. 이 모델은 광범위한 웨이퍼 (wafer) 및 마스크 재료에 적합하므로 효율성이 향상되고 처리량이 증가합니다. 또한 확장성이 뛰어나 배치 기반 (batch-based) 및 단일 웨이퍼 에치/애쉬 (single wafer etch/ash) 처리를 모두 수행할 수 있으므로 비용 효율적인 솔루션이 가능합니다. 이 장비에는 추가 가스 소스 (gas source) 와 고유 한 다중 단계 프로세스 (multiple stage process) 가 장착되어 있어 복잡한 장치를 최적으로 제조 할 수 있습니다. LAM RESEARCH 9400은 PC 기반 Job Manager와 결합된 강력하고 직관적인 소프트웨어 플랫폼 인 MARK 5500 소프트웨어에서 지원되며, 빠르고 쉬운 매개변수 입력, 최적화 및 프로세스 제어가 가능합니다. 통합 소프트웨어는 또한 다양한 응용 프로그램에 대한 사전 정의 에치/애쉬 (etch/ash) 레시피를 제공하며 고급 재료 데이터베이스에 대한 액세스를 제공합니다. 이 시스템은 최대 프로세스 재생성을 보장하기 위해 산화물 평면 (oxide planarization) 및 수동화 (passivation) 와 같은 다양한 후처리 기능으로 지원됩니다. 전체적으로 9400은 고성능 어플리케이션을 위해 설계된 고급 etcher/asher 장치입니다. 이 기계는 견고하고 정확도가 높은 에치/애쉬 (etch/ash) 프로세스를 제공하며, 다양한 기판 및 응용 프로그램에 최적화되어 있습니다. 이 툴은 포괄적인 지원 소프트웨어와 고급 프로세스 툴 (Advanced Process Tools) 을 통해 연구/운영 환경 모두에 이상적인 솔루션입니다.