판매용 중고 LAM RESEARCH 9400 #293776309

LAM RESEARCH 9400 (LAM RESEARCH 9400) 은 업계 최고의 처리량 배치 에처/애셔 (etcher/asher) 로, 가장 까다로운 생산 요구 사항에 맞게 안정적이고 견고하도록 설계 및 제조되었습니다. 소형 로우 프로파일 (low-profile) 디자인이 특징이며, 설치 공간이 작아 모든 제조 환경에서 성능을 최적화합니다. 이 장비는 매우 유연하며, 고속 에칭 (eching) 및 웨이퍼 애싱 (wafer ashing) 을 위한 다양한 맞춤형 옵션을 갖추고 있습니다. 여기에는 프로세스 챔버 (Process Chamber) 및 압력 제어판 (Pressure Control Panel) 이 포함되며, 챔버 당 최대 3 개의 에처/재가 있으며 하나의 시스템에서 최대 프로세스 기능을 제공합니다. 포토리스 트 제거, 표면 평면 화, 재료 에칭, 유전체 에치 등 다양한 프로세스 기술을 위해 구성 될 수 있습니다. 이 장치는 LAM의 독점 LatitedPro (tm) 고급 제어 소프트웨어를 사용하여 에치 (etch) 및 애쉬 레시피의 정확한 자동화, 고급 데이터 수집 및 보고 기능을 제공합니다. 이 소프트웨어는 다양한 레시피 (recipe) 및 프로세스 관리 툴 (management tools) 을 통해 지원되므로 반복 가능하고 안정적인 프로세스를 신속하게 개발할 수 있습니다. 이 기계는 안전 스위치, 에너지 모니터링, 비상 정지 시스템 등 다양한 안전 기능을 제공합니다. 이 도구는 또한 진공 인터 록 (vacuum interlock) 을 사용하여 작업 중 프로세스 챔버 (process chamber) 와 로드 록 (loadlock) 을 보호합니다. 또한, 이 시설의 이더넷 네트워크를 사용하여 자산을 원격으로 모니터링할 수 있습니다. 이 모델은 최대 성능, 처리량 에처/재 (etcher/ashes) 및 도펀트 활성화 (dopant activation) 및 확산을 위한 빠른 웨이퍼 가열 시스템 (fast wafer heating system) 을 선택하여 설계되었습니다. 또한, 이 장비는 최소한의 유지 보수를 위해 설계되었으며, 프로세스 챔버 클리닝 사이클이 최적화되었으며, 가스 압력 및 흐름의 자체 보상 (self-compensation) 을 통해 시스템이 안정적이고 비용 효율적입니다. 요약하자면, 9400 은 포괄적이고 신뢰할 수 있는 에처/애셔 (etcher/asher) 로서 가장 까다로운 생산 요구 사항도 충족할 수 있도록 조정되었습니다. 이 제품은 높은 수준의 성능, 유연성, 비용 효율성을 제공하여 모든 산업 제조 (industrial manufacturing) 작업에 매우 매력적인 선택입니다.