판매용 중고 LAM RESEARCH 9400 #293762518

LAM RESEARCH 9400은 금속 유기 화학 증기 증착 (MOCVD) 프로세스에 사용되는 자동 에처 및 애셔입니다. -20 ° C ~ 475 ° C의 온도에서 배치 또는 단일 웨이퍼 처리가 가능합니다. 고온에서 작업하는 장비의 능력은 고품질 (High Quality) 재료를 빠르고 효율적으로 증착할 수 있습니다. 기계의 큰 챔버는 직경이 최대 12 ", 두께가 최대 0.4" 인 웨이퍼를 처리 할 수 있습니다. 9400은 고급 사용자 친화적 시스템 (Advanced User-Friendly System) 에 의해 제어되며, 인체 공학적 설계로 쉽게 사용할 수 있습니다. 이 장치에는 가스 모니터링 머신 (gas monitoring machine) 과 자동 통풍구 (automatic venting) 와 같은 여러 안전 기능이 장착되어 있습니다. 확산 결합 펌핑 챔버 (diffusion-bonded pumping chamber) 를 사용하여 에칭 및 애싱 공정에서 향상된 성능을 제공합니다. 또한 LAM RESEARCH 9400에는 프로세스를 자동화하고, 레시피를 최적화하고, 실시간 피드백을 제공하기 위한 고급 소프트웨어 모듈이 장착되어 있습니다. 이 도구는 플루오로 카본, 할로카본, 탄화수소, 황, 할로겐을 포함한 다양한 에칭 및 애싱 화학 믹스를 사용합니다. 또한 무균성 (aseptic) 프로세스를 처리하여 제품 품질을 신속하게 테스트하고 검증할 수 있습니다. 이 자산에는 고객의 애플리케이션에 따라 2 개 또는 3 개의 프로세스 모듈이 포함됩니다. 첫 번째 프로세스 모듈은 에처 (etcher) 이며, 소스 가스를 배치하고, 웨이퍼를 청소하고, 원하는 에칭 (etching) 및 애싱 (ashing) 프로세스를 적용하는 데 사용됩니다. 그런 다음, 두 번째 공정 "모듈 '은" 애셔' 이며, 표면 오염 물질 을 제거 하는 데 도움 이 되면서 어떤 잔류 도 제거 한다. 마지막으로, 세 번째 모듈은 트랜스포터 (transporter) 로, 프로세스 모듈 사이의 웨이퍼 이동을 전송하고 고정합니다. 9400에는 전용 에칭 및 애싱, 에칭/애싱 또는 에칭/보상을 포함한 여러 작동 모드가 있습니다. 또한 LAM RESEARCH 9400에는 온도, 압력, 흐름 및 기타 작동 매개변수를 모니터링하는 정교한 제어 및 모니터링 시스템이 포함되어 있습니다. 마지막으로, 이 모델은 자가 진단 (self-diagnosing) 방식으로 모든 문제와 오류에 대해 경고하고, 프로세스 효율성을 높이고, 최고 수준의 결과를 보장하기 위한 노력의 귀중한 피드백을 제공합니다.