판매용 중고 LAM RESEARCH 9400 SE #9226497

LAM RESEARCH 9400 SE는 광범위한 웨이퍼 처리 응용 프로그램을 위해 설계된 최첨단 에처 애셔 (etcher-asher) 장비입니다. LAM RESEARCH 9400SE (LAM RESEARCH 9400SE) 는 탁월한 성능을 위해 뛰어난 웨이퍼 처리 및 반복 기능을 제공하여 가장 안정적이고 다양한 시스템 중 하나입니다. 9400 SE의 핵심은 웨이퍼 에치 애셔이며, ICP (Inductively-Coupled Plasma), CMP (Chemical-Mechanical Planarization) 및 RIE (Reactive Ion Etch) 와 같은 다양한 옵션이 포함될 수 있습니다. 9400SE 의 표준 구성요소 (standard component) 는 교대 및 단일 프로세스 주기 모두에서 효율적이고 고급 에칭 및 애싱 기능을 제공합니다. 주 에칭/애싱 (etching/ashing) 모듈을 지원하는 것은 뛰어난 웨이퍼 처리 및 안전을 보장하는 다양한 메커니즘입니다. LAM RESEARCH 9400 SE에는 3 축 웨이퍼 동작 모듈이 있으며, 이는 X, Y 및 I 축에서 정확하고 반복 가능한 웨이퍼 이동을 가능하게합니다. 동작은 고해상도 스테퍼 모터에 의해 구동되며 닫힌 루프 피드백 시스템에 의해 정확하게 제어됩니다. 이 장치에는 로드 잠금 장치 (load lock machine) 도 장착되어 있어 빠른 웨이퍼 로드 및 언로드가 가능합니다. 도구의 내부 압력은 애플리케이션 요구 사항에 따라 조정될 수 있습니다. LAM RESEARCH 9400SE는 다양한 안전 기능으로 설계되었습니다. 여기에는 웨퍼 (wafer) 및 공정 챔버 (process chamber) 에 대한 오염 및 잠재적 손상을 최소화하기 위해 에칭/애싱 프로세스를 모니터링하는 통합 잔류 가스 분석기가 포함됩니다. 이 자산에는 자동 장애 감지 (fault detection) 및 수리 시스템 (repair system) 이 장착되어 있어 실시간 장애 감지 및 수리 기능을 제공합니다. 마지막으로, 9400 SE는 클린 룸 작동을 위해 설계되었으며, 이온화 방사선, EMF 및 EMI의 수준이 낮은 일정한 환경을 보장하는 고급 정전기 차폐 재료를 갖추고 있습니다. 9400SE (9400SE) 는 모든 유형의 칩 생산 프로세스의 엄격한 안전 요건을 충족시켜 웨이퍼 (wafer) 수준에서 우수한 균일 에칭 및 열 균일성을 제공합니다. 고급 기능, 높은 반복성 및 균일성 덕분에, 이 모델은 광범위한 웨이퍼 에치 애쉬 (wafer etch-ash) 프로세스에 이상적입니다. LAM RESEARCH 9400 SE는 뛰어난 성능, 안정성, 안전성을 자랑하는 강력한 웨이퍼 처리 및 생산 도구입니다.