판매용 중고 LAM RESEARCH 9400 PTX #293767943

LAM RESEARCH 9400 PTX는 솔루션 기반 딥 플라즈마 에칭 및 애싱 응용 프로그램을 제공하는 에처/애셔입니다. 최고 화면 비율 정밀도 (Aspect Ratio Precision) 구조와 최고의 프로세스 반복성으로 가장 깊은 임계 에칭을 처리하도록 설계되었습니다. 이를 통해 제조 프로세스 처리량 및 수익률 향상, 최고의 품질 (quality of material) 보장 등이 향상됩니다. LAM RESEARCH 9400PTX는 시간당 최대 500 개 이상의 와퍼를 제공하여 광범위한 대용량 제조 어플리케이션에 적합합니다. 이 장비는 단일 챔버에서 단일 (single) 또는 다중 (multiple) 타겟을 처리하여 유연성과 생산성을 향상시킵니다. LAM RESEARCH 9400 PTX 고급 플라즈마 화학에는 고도의 균일 성과 반복성을 제공하고 폐기물 양을 최소화하는 독특한 펄스 플라즈마 (pulsed-plasma) 기술이 포함되어 있습니다. 시스템의 고급 프로세스 레시피 개발 방법은 프로세스 제어를 제공하며, 0.5 "m '이상의 정확도를 제공합니다. 또한 9400 PTX는 업계에서 가장 높은 균일성과 런투런 반복성을 제공합니다. 또한 9400PTX는 프로세스 안정성을 지원하고 웨이퍼 수준의 온도 제어를 지원하는 통합 챔버 (chamber) 설계를 갖추고 있습니다. 정밀 웨이퍼 전송 장치는 최대 4 인치 배치 크기로 정확하고 반복 가능한 동작을 보장합니다. 기계의 공구와 레시피 액세스는 온보드 컴퓨터 (Onboard Computer) 에 의해 활성화되며, 이는 엔지니어에게 유연성을 제공하므로 제품을 정확하고 안정적으로 처리 할 수 있습니다. 챔버의 유지 보수 기능, 향상된 안전 프로토콜, 클로즈드 루프 (closed-loop) 프로세스 제어는 전반적인 운영 비용을 절감하고 프로세스 가스를 가장 효율적으로 사용하는 데 도움이 될 것입니다. 또한 LAM RESEARCH 9400 PTX 는 사용하기 쉽고 에치 (etch) 도구를 완벽하게 제어할 수 있는 직관적인 플랫폼을 자랑합니다. 또한 데이터 관리 소프트웨어 (data management software) 를 통해 사용자가 쉽게 데이터를 익스포트하여 분석하고 데이터를 저장하여 트렌드 (trending) 및 다중 레시피 (multiple recipe) 를 수행할 수 있습니다. 요약하자면, LAM RESEARCH 9400PTX etcher/asher는 복잡한 구조의 정밀도 깊은 에칭 및 재싱을 위해 타의 추종을 불허하는 공정 정밀도와 반복 성을 제공합니다. 첨단 플라즈마 화학 (Plasma Chemistry) 과 통합 챔버 디자인 (Integrated Chamber Design) 은 광범위한 대용량 제조에 이상적인 자산입니다. 9400 PTX는 안정적이고 정확한 에칭 및 애싱 프로세스를위한 탁월한 선택입니다.