판매용 중고 LAM RESEARCH 9400 DFM #9238153

LAM RESEARCH 9400 DFM (Deep Feature Etch and Asher) 은 최첨단 에칭 및 애셔 솔루션으로, 고급 반도체 장치 제조의 빠르게 변화하는 요구를 충족하도록 설계되었습니다. 이 강력한 에처/애셔 (etcher/asher) 는 매우 능률적이지만 비용 효율이 높아 다양한 재료를 정확하게 에칭 및 표면 청소할 수 있습니다. 9400 DFM은 검증된 강력한 PI/PID 제어 (PI/PID Control) 및 정확한 프로세스 반복성을 지원하는 고급 피드 포워드 (feed forward) 장비를 포함하여 강력한 하드웨어 구성을 통해 탁월한 프로세스 안정성을 제공합니다. LAM RESEARCH 9400 DFM의 탁월한 방향성 에치 (etch) 기능은 탁월한 공정 형상과 표면 품질을 제공하며, 이온 빔 (ion beam) 기반 에칭은 다양한 구조와 형상에 대한 탁월한 정밀도와 제어를 제공합니다. 또한 9400 DFM에는 완전 자동 안전 종료 시스템, 다단계 통합 열 관리 환경, 빠른 릴리스 지원 도구, 완전 통합 로드 잠금 장치 (load-lock unit) 등 다양한 고급 하드웨어 기능이 포함되어 있습니다. 즉, 이 프로세스는 안전하고 신뢰할 수 있으며, 높은 수익률, 반복 가능한 프로세스 성능에 대한 자신감을 제공합니다. LAM RESEARCH 9400 DFM은 또한 통합 입자 트랩, 오염 방지 쉴드 (Anti-Contamination Shield), 접점 후 비접촉 이미지 처리 기능 (Post-etch Non-Contact Imaging) 등 다양한 옵션 애드온 모듈을 갖추고 있습니다. 9400 DFM의 고급 기능과 견고한 구성은 고급 반도체 장치 구성 (Fabrication) 애플리케이션을 위한 완벽한 선택입니다. 이 에처/애셔 (etcher/asher) 는 속도, 정밀도, 신뢰성 있는 성능을 조합하여 가장 복잡한 프로세스 요구 사항까지 충족할 수 있으며, 이를 통해 디바이스를 한 차원 높일 수 있습니다.