판매용 중고 LAM RESEARCH 9400 DFM #9207998

LAM RESEARCH 9400 DFM은 고급 웨이퍼 제조 요구 사항의 까다로운 요구를 충족시키기 위해 특별히 설계된 etcher/asher입니다. 이 장비는 다양한 전통적인 건조 및 습식 에칭 공정 (etch/crystal growth) 과 새로운 에치/결정 성장 및 화학 기계 연마 공정이 가능합니다. 이 시스템은 고급 프로세스 제어 소프트웨어와 최첨단 옵틱 패키지 (Optics Package) 를 갖추고 있어 고급형 웨이퍼 프로세싱을 위한 탁월한 생산성 및 품질 성능을 제공합니다. 이 장치는 평면과 3D 웨이퍼 치수에서 서브미크론 (submicron) 크기와 복잡한 구조로 기능을 에칭 및 애싱 (ashing) 할 수 있습니다. 이중 배송 시스템은 향상된 처리량과 사용자 유연성을 제공합니다. 이 기계는 또한 고급 온도 제어 (temperature control) 및 열 제거 기술로 열 관리 기능을 제공합니다. 9400 DFM에는 박막 증착을 강화하기 위해 특별히 설계된 고압 트랜스듀서 모듈 (high pressure transducer module) 과 같은 다양한 모듈이 제공됩니다. 또한 빠른 열 처리를 정확하게 제어 할 수있는 고온 강착 모듈 (high temperate deposition module) 이 있습니다. 3 챔버 금속 애셔 (asher-chamber metal asher) 와 같은 애셔는 완전 자동화 작업을 위해 자동 로드/언로드 기능을 제공합니다. LAM RESEARCH 9400 DFM은 반사계 모니터링 (RPM) 및 레이저 간섭계와 같은 다양한 고급 프로세스 모니터링 기능을 제공합니다. 이 고급 디지털 도구는 에치 깊이와 온도를 지속적으로 모니터링하여 최적의 프로세스 제어를 보장합니다. 또한, 운영 데이터를 모니터링하거나 잠재적 프로세스 오류에 대한 경보를 트리거 (trigger) 하는 특수 제어 시스템이 포함되어 있습니다. 에셋은 또한 확장 된 게이트 구조 및 포토 esist 레이어 두께에 대한 상세한 결함 분석을 제공하는 레이어 도량형 (layer metrology) 모델을 특징으로합니다. 9400 DFM은 또한 입자 감지 장비 (particle detection equipment) 를 포함하여 미립자 및 오염 수준을 모니터링하고 필터링하는 고급 추적 기술을 제공합니다. 이로 인해 수익률 및 프로세스 결과가 향상됩니다. 이 시스템은 최적의 도량형 (metrology) 을 위해 설계되었으며, 통합 제어판은 유연성 향상을 위해 수작업 (manual operation) 을 허용합니다. LAM RESEARCH 9400 DFM은 고정밀 제조 프로세스에 대한 다양한 고급 에칭 요구 사항을 처리 할 수있는 다재다능한 에처/애셔입니다. 이 장치는 고급 프로세스 제어 (process control) 기능과 반도체 프로세싱에서 탁월한 생산성 및 품질 성능을 제공하는 자동화된 모듈을 갖추고 있습니다. 또한, 고급 모니터링 기능은 탁월한 프로세스 제어 능력을 보장하며 결과를 산출합니다.