판매용 중고 LAM RESEARCH 9400 DFM #9011879

LAM RESEARCH 9400 DFM은 일관된 결과로 고정밀 패턴을 만드는 데 사용되는 고급 etcher/asher 기술입니다. 리토그래피 (lithography) 와 에칭/애싱 (etching/ashing) 기술의 장점을 결합하여 최상의 생산성을 제공합니다. 이 장비는 프로세스를 간소화하고, 신속하고 효율적으로 결과를 산출하는 기능으로 설계되었습니다. 9400 DFM은 컴팩트하지만 모든 기능을 갖춘 시스템으로, 닫힌 루프, 로봇 인터페이스, 높은 처리량, 다양한 프로세스 옵션을 갖추고 있습니다. 스테이지 바이 스테이지 패턴화와 향상된 필드 스퍼터링 머신 (Sputtering Machine) 을 갖춘 고급 수직 리소그래피 유닛이 특징이며, 반복 가능한 정확도로 나노 미터 스케일 결과를 얻을 수 있습니다. 또한 선택 가능한 스텝 높이 (step height) 와 이동식 기판 척 (chuck) 을 사용한 평면 화도 포함되어 있어 공구 안팎으로 쉽게 재료를 전송할 수 있습니다. LAM RESEARCH 9400 DFM은 박막 두께, 프로파일 두께, 필름 컴포지션을 포함한 박막 특성을 측정하는 다양한 광학 모니터와 함께 비접촉 인사이트 (in-situ) 및 포스트 프로세스 끝점 탐지를 제공합니다. 이것은 모든 에칭/애싱 단계에서 높은 정확성과 정확성을 보장합니다. 에셋은 또한 다양한 다른 프로세스 (예: 사진, 유전체 하드 마스킹 응용 프로그램) 에 사용될 수 있습니다. 9400 DFM은 이더넷, USB 또는 TCP/IP 프로토콜을 사용하여 신뢰할 수 있는 무선 통신을 제공합니다. 따라서 데이터를 신속하게 전송하고 결과를 자동으로 기록할 수 있습니다. 또한, 이 모델은 쉽게 프로그래밍할 수 있으며 소프트웨어 (Software) 툴과 함께 제공되어 특정 요구 사항에 맞게 프로세스를 사용자 정의할 수 있습니다. LAM RESEARCH 9400 DFM은 전자 제품 제조, 반도체 포장, 의료 기기 제조, MEM, 광학 부품 등 다양한 산업에 적합합니다. 반도체 제조업의 생산성과 신뢰성을 극대화하는 "안정성· 효율성 '장비다.