판매용 중고 LAM RESEARCH 9400 DFM #293764229

LAM RESEARCH 9400 DFM은 반도체 장치 제조를 위해 설계된 습식 공정 에칭/애싱 장비입니다. 프로세스 성능 향상, TCO (총소유비용) 절감, 오염 감소, 안전성 향상을 위해 설계된 첨단 기술 제품군을 갖추고 있습니다. 9400 DFM 시스템은 모듈식 (Modular) 설계로 구성되어 있으며 다양한 기술 및 프로세스 애플리케이션을 지원할 수 있습니다. 이 장치에는 완전 통합 이미징, 온도 조절, 모니터링 및 대량 흐름 컨트롤러 (MFC) 가 포함됩니다. 이러한 구성 요소를 함께 사용하면 일관된 증착률을 통해 고품질의 반복 가능한 에칭/애싱 (etching/ashing) 을 보장할 수 있습니다. LAM RESEARCH 9400 DFM의 다중 영역 (multi-zone) 설계는 프로세스의 각 단계에서 최적의 열 제어를 가능하게 합니다. 또한 DFM에는 여러 개의 챔버 (chamber) 와 빠른 주기 (rapid cycle) 시간을 동시에 개발할 수 있는 고유한 기능이 포함되어 있습니다. 9400 DFM 기계는 에치 선택성, 균일성 향상, 프로세스 성능 향상을 지원하는 이중 증기 전달 도구를 갖추고 있습니다. 이 자산에는 전용 웨이퍼 히터 (Wafer Heater) 가 포함되어 있어 웨이퍼 표면에 대한 온도 제어가 향상되었으며, 이는 고품질 고급 공정 장치 (Advanced Process Device) 를 생산하는 데 중요합니다. 이 모델에는 에치 화학 전달 (옵션) 을위한 창 웨이퍼 에스터 포트와 개선 된 등방성 에칭을위한 수소 양극 (옵션) 도 포함됩니다. LAM RESEARCH 9400 DFM 플랫폼에는 3800 개의 컨트롤러 장비와 프로세스 자동화를 위한 모듈 모음, 재생 가능한 프로세스 및 추적 가능한 데이터가 포함되어 있습니다. 프로세스 레시피는 데이터베이스에 저장하고, 원격으로 액세스하며, 시스템의 OPC 서비스에서 직접 제어할 수 있습니다. 9400 DFM은 내부 클리닝 및 과압 보호 기술로 설계되어 플라스마 유발 입자 오염의 가능성을 줄이고, 공정 성능을 향상시킵니다. 결론적으로, LAM RESEARCH 9400 DFM은 고성능을 위해 설계되었으며, 고급 장치 및 마이크로 일렉트로닉 프로세스 제조에 이상적인 솔루션입니다. 유연한 구성, 최적화된 온도 제어, 통합 이미징, 사용자에게 친숙한 매개변수, 빠른 주기 시간, 고급 프로세스 자동화, 불순물 보호 기능을 제공합니다.