판매용 중고 LAM RESEARCH 925-186371-004 #293774810
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LAM RESEARCH 925-186371-004 (LAM RESEARCH 925-186371-004) 는 반도체 제조 산업 내에서 식각 및 청소 공정에서 탁월한 성능과 정밀도를 제공하도록 설계된 고도의 etcher/asher 도구입니다. 이 최첨단 장비는 반도체 기판의 식각· 청소를 통한 고품질 집적회로의 생산성을 보장하는 데 중요한 역할을 한다. 고품질 집적회로 (UHD) 는 한층 더 정확하고 효율적이다. 925-186371-004에는 최첨단 기능 및 기술이 장착되어 있어 최첨단 etcher/asher 도구로 두드러집니다. 이 장비의 주요 특징 중 하나는 고급 플라즈마 처리 기능 (Advanced Plasma Processing Capability) 으로, 정확한 재료 제거 및 서피스 수정이 제어됩니다. 이 도구는 플라즈마 화학과 고 에너지 이온의 조합을 사용하여 반도체 웨이퍼 (sub-micron resolution) 의 패턴을 에치 (etch) 하여 현대 반도체 제조 공정의 엄격한 요구 사항을 충족시킵니다. LAM RESEARCH 925-186371-004의 에칭 공정은 진공 챔버 (vacuum chamber) 에서 수행되며, 여기서 기질은 플라즈마 소스에 의해 생성 된 반응성 이온으로 폭격된다. 이 도구는 플루오린 기반 화학 (fluorine-based chemistry) 과 같은 기체의 조합을 사용하여 웨이퍼 표면에서 물질을 선택적으로 제거하여 반도체 소자의 제작에 필요한 복잡한 패턴과 구조를 만듭니다. 에칭 프로세스는 가스 유속, 플라즈마 파워 (plasma power) 및 챔버 압력 (chamber pressure) 과 같은 매개변수의 조합을 통해 정확하게 제어되므로 전체 웨이퍼 표면에 균일 한 에칭이 가능합니다. 925· 186371· 004 는 이례적인 식각 기능 외에도 반도체 기판의 청결· 무결성 유지에 필수적인 고급 청소기능을 갖추고 있다. 이 도구는 플라즈마 (Plasma) 기반 기술을 사용하여 웨이퍼 (Wafer) 표면에서 오염 물질과 잔기를 제거하여 기판에 장치 성능에 부정적인 영향을 줄 수있는 불순물이 없도록 해주는 전용 애셔 (asher) 장치를 갖추고 있습니다. LAM RESEARCH 925-186371-004 (LAM RESEARCH 925-186371-004) 는 반도체 제조 설비의 운영 효율화 및 생산성 향상을 위해 높은 수준의 자동화 및 프로세스 제어로 설계되었습니다. 이 툴에는 고급 소프트웨어 (advanced software) 가 장착되어 있어 운영자가 특정 장치 요구 사항에 맞춘 정확한 에칭 (etching) 및 클리닝 레시피를 프로그래밍할 수 있으므로 운영 프로세스의 반복성과 일관성을 보장합니다. 이 장비는 또한 실시간 모니터링 (monitoring) 및 진단 (diagnostics) 기능을 통해 운영자가 프로세스 문제를 신속하게 파악하고 해결하여 다운타임을 최소화하고 수익률을 극대화할 수 있습니다. 또한, 925-186371-004는 신뢰성, 견고성, 유지 보수 용이성에 중점을 두어 까다로운 반도체 제조 환경에서 지속적인 운영을 보장합니다. 이 공구는 부식성 가스 (corrosive gase) 에 강한 고품질 재료 및 컴포넌트 (component) 로 구성되며 처리 중에 발생하는 고온으로 구성됩니다. 또한, 이 장비는 서비스 용이성을 염두에 두고 설계되었으며, 일상적인 유지 보수 및 문제 해결을 위해 중요한 구성 요소에 쉽게 액세스할 수 있습니다. 전반적으로 LAM RESEARCH 925-186371-004는 반도체 제작을위한 플라즈마 처리 기술의 최신 발전을 구현하는 최첨단 에처/애셔 도구입니다. 이 장비는 정확성, 안정성, 첨단 기능으로, 고급 반도체 장치의 고품질, 고수율 생산량을 달성하고자 하는 반도체 제조업체에 귀중한 자산입니다.
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