판매용 중고 LAM RESEARCH 852-030038-601 #293661559
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LAM RESEARCH 852-030038-601 etcher/asher는 반도체 산업에서 부품 제조에 사용되는 도구입니다. 그것 은 "플라즈마 '처리 도구 의 일종 이며" 에처' 와 "애셔 '의 결합 이다. 이 특수 기계 는 "반도체 웨이퍼 '표면 에서 원치 않는 물질 을 제거 하는 데 사용 된다. 이것 은 "이온 '화 된" 가스' 와 수동적 인 "가스 '의 조합 을 이용 하여 원치 않는 층 을 탈취 하는 것 이며, 잔기 를 제거 함 으로써 표면 을 깨끗 이 하는 데" 애셔' 가 사용 된다. 852-030038-601 etcher/asher는 높은 정밀도와 높은 수준의 재생성으로 작동 할 수 있습니다. 이를 통해 설계 내성이 정확한 고품질 반도체 부품을 생산할 수 있습니다. 이 기계는 또한 다양한 프로세스 레시피와 손쉽게 조절 가능한 플랫폼 기능 (예: 전력 출력 변화, etch process speed 등) 을 가질 수 있습니다. 이는 광범위한 etch 프로세스와 최적의 process recipe 최적화에 적합합니다. 이 etcher/asher는 또한 안정적이고 일관된 결과를 제공하는 고급 프로세서 및 자동 기능을 제공합니다. 전용 가스 분포 시스템을 갖춘 멀티 챔버 (multi-chamber) 설계를 통해 가스 농도를 조절하고 균일 한 재료 제거에 필수적입니다. 또한 LAM RESEARCH 852-030038-601에는 멀티 빔 병렬 etcher 시스템이 포함되어 있으며, 에칭 된 피쳐의 정확한 모양 및 프로파일 제어가 가능합니다. 852-030038-601 etcher/asher에는 챔버 퍼지 및 압력 센서와 같은 안전 기능이 있습니다. 이들은 에치 (etch) 과정에서 적절한 작동 압력을 보장하고 챔버의 과압 (over pressurization) 을 방지하기 위해 작동합니다. 이는 인력의 안전과 장치의 보호를 보장합니다. 이 기계는 또한 웨이퍼 (wafer) 표면에서 안정적인 공정 온도를 유지하기 위해 활성 온도 제어를 가지고 있습니다. 이 에처/애셔는 효율적이고 고속 에칭 프로세스를 제공 할 수 있습니다. 또한 고급 구성 요소와 자동 (automated) 기능으로 주기 시간과 폐기물을 줄일 수 있습니다. 결합 된 에치 (etch) 및 애셔 (asher) 프로세스는 전체 비용과 주기 시간을 줄이는 데 도움이 될 수 있습니다. LAM RESEARCH 852-030038-601 etcher/asher는 반도체 산업을위한 신뢰할 수있는 도구이며, 고품질, 비용 효율적인 구성 요소를 생산하는 데 이상적입니다.
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