판매용 중고 LAM RESEARCH 839-800327-385 #293751395
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LAM RESEARCH 839-800327-385는 고급 반도체 제조 공정을 위해 특별히 설계된 최첨단 etcher/asher 장비입니다. 이 고도로 정교한 도구는 최첨단 기술을 사용하여 집적회로 (integrated circuit) 및 기타 반도체 장치의 제작에 중요한, 정확하고 효율적인 에칭 및 애싱 기능을 제공합니다. 성능, 신뢰성, 유연성에 중점을 둔 839-800327-385 는 반도체 업계에서 필수적인 도구입니다. LAM RESEARCH 839-800327-385의 중심에는 고급 플라즈마 에칭 기술이 있습니다. 플라즈마 에칭 (Plasma etching) 은 반도체 제조의 핵심 과정으로, 하전 입자로 구성된 물질의 활기찬 상태 인 플라즈마 (Plasma) 를 사용하여 기판에서 물질을 선택적으로 제거한다. 839-800327-385는 기체 구성, 압력, 전력 등 매개변수를 정확하게 제어하는 고밀도 플라즈마를 생성하는 정교한 플라즈마 소스를 특징으로합니다. 이 시스템에는 다양한 기판 및 공정 (process) 조건을 수용할 수있는 다용도 공정 챔버가 장착되어 있습니다. 이러한 유연성을 통해 반도체 제조업체는 실리콘, 이산화규소, 금속, 중합체 등 다양한 재료를 선택성과 균일성이 높게 에칭할 수 있습니다. LAM RESEARCH 839-800327-385는 사용자 정의 가능한 프로세스 레시피 라이브러리를 제공하여 사용자가 특정 장치 구조 및 재료에 대한 etching 매개 변수를 최적화하여 일관되고 안정적인 결과를 얻을 수 있도록 합니다. 839-800327-385 (839-800327-385) 는 에칭 기능 외에도 반도체 웨이퍼에서 포토 esist 및 기타 유기 물질을 제거하기위한 애셔 유닛으로도 기능합니다. 애셔 모듈 (asher module) 은 플라즈마 (plasma) 와 반응성 가스 (reactive gase) 의 조합을 사용하여 기본 기판의 손상을 최소화하면서 포토 esist를 효율적으로 제거한다. 이 이중 기능을 통해 LAM RESEARCH 839-800327-385는 다양한 반도체 처리 응용 프로그램을위한 다용도 도구입니다. 839-800327-385 는 고급 프로세스 모니터링 및 제어 기능을 갖추고 있어 최적의 성능과 재현성을 보장합니다. 실시간 프로세스 모니터링 시스템은 플라즈마 온도, 가스 흐름 속도, 압력 (pressure) 과 같은 주요 매개변수를 지속적으로 모니터링하여 프로세스 안정성을 유지하도록 사전 조정합니다. 이 기계에는 에칭 (etching) 또는 애셔 (asher) 프로세스의 완료를 정확하게 알림하는 정교한 엔드 포인트 감지 알고리즘이 포함되어 있습니다. 생산성을 높이고 다운타임을 줄이기 위해 LAM RESEARCH 839-800327-385는 자동화된 웨이퍼 처리 및 로드 시스템을 통합했습니다. 이러한 로봇 시스템은 웨이퍼 로드 및 언로드 프로세스를 간소화하여 처리량을 높이고 운영자의 개입을 줄입니다. 이 툴에는 간편한 프로세스 제어 및 데이터 분석 (data analysis) 기능을 갖춘 사용자 친화적 소프트웨어 인터페이스가 장착되어 있어 운영자가 실시간으로 프로세스 성능을 모니터링하고 최적화할 수 있습니다. 전반적으로 839-800327-385는 고급 플라즈마 처리 기술과 유연한 프로세스 기능 및 강력한 자동화 기능을 결합한 최첨단 에처/애셔 (etcher/asher) 자산입니다. LAM RESEARCH 839-800327-385 는 탁월한 성능, 안정성, 다용성을 자랑하는 반도체 (RIC) 제조업체로서, 장치 제작의 경계를 넓히고 동적 반도체 업계의 경쟁 우위를 유지하려는 필수 도구입니다.
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