판매용 중고 LAM RESEARCH 839-101612-883 #293759191
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LAM RESEARCH 839-101612-883은 반도체 제조 공정을 위해 설계된 고도의 etcher/asher 도구입니다. 이 장비는 집적 회로 (integrated circuit) 와 기타 전자 기기의 생산에 있어 중요한 요소입니다. 반도체 산업에서 사용되는 실리콘 웨이퍼 (silicon wafer) 및 기타 기판을 가공하는 데 사용되는 정확성, 성능, 신뢰성으로 유명합니다. 839-101612-883은 화학적 (chemical) 과 물리적 (physical) 공정의 조합을 사용하여 웨이퍼 표면에서 재료를 정확하게 제거하는 정교한 플라즈마 에칭 시스템을 특징으로합니다. 이 도구는 선택성과 균일성이 높은 photoresist 레이어, 유전체 필름, 금속 레이어 및 기타 재료를 에치 (etch) 및/또는 애쉬 (ash) 하도록 특별히 설계되었습니다. 이 장비는 소규모의 연구 샘플에서 대용량 생산에 이르기까지 다양한 웨이퍼 (wafer) 크기를 수용할 수 있습니다. LAM RESEARCH 839-101612-883의 주요 기능 중 하나는 고급 플라즈마 소스 기술입니다. 이 도구에는 고출력 RF 발전기와 플라즈마 매개변수를 정확하게 제어 할 수있는 다양한 가스 전달 시스템 (gas delivery system) 이 장착되어 있습니다. 결과적으로 프로세스 제어 향상, etch 속도 향상, 프로세스 변화 감소, 수율 증가, 디바이스 성능 향상 등의 효과를 얻을 수 있습니다. 이 장비는 또한 레시피 개발, 프로세스 모니터링, 데이터 분석을 위한 직관적인 소프트웨어 제어 기능을 갖춘 사용자 친화적 인 인터페이스를 제공합니다. 운영자는 복잡한 에칭 패턴을 실행하고, 프로세스 매개변수를 최적화하고, 프로덕션 중에 발생할 수 있는 모든 문제를 해결하기 위해 쉽게 도구를 프로그래밍할 수 있습니다. 이 도구의 고급 소프트웨어 알고리즘은 실시간 피드백 (feedback) 과 분석 (analysis) 을 제공하여 프로세스 설정을 신속하게 조정하고 세밀하게 조정할 수 있습니다. 또한, 839-101612-883 은 운영자와 환경의 보호를 위해 다양한 안전 (safety) 기능을 갖추고 있습니다. 이 도구는 유해 가스, 화학 물질을 안전하게 처리할 수 있도록 설계되었으며, 내장 센서와 경보를 통해 누출 또는 비정상적인 상태를 감지합니다. 이 장비는 또한 무단 액세스를 방지하고 작동 중 적절한 환기를 보장하기 위해 연동 시스템 (Interlock System) 을 갖추고 있습니다. LAM RESEARCH 839-101612-883은 다양한 용도로, 특정 프로세스 요구 사항 및 통합 요구를 충족할 수 있도록 사용자 정의할 수 있습니다. 이 장비는 여러 프로세스 챔버, 웨이퍼 처리 시스템 (Wafer Handling System), 자동화 모듈 (Automation Module) 으로 구성하여 대용량 운영 환경의 처리량과 효율성을 높일 수 있습니다. 이 툴의 모듈식 설계를 통해 업그레이드 및 유지 보수가 간편해져 장기적인 안정성과 성능을 보장할 수 있습니다 (영문). 전체적으로 839-101612-883은 반도체 제조업체에 업계 최고의 성능, 정확성 및 유연성을 제공하는 최첨단 etcher/asher 도구입니다. 고급 플라즈마 (Plasma) 기술, 사용자 친화적 인터페이스 (User-Friendly Interface), 견고한 설계를 갖춘 이 장비는 고품질 장치 제작과 일관된 프로세스를 통해 제조 작업을 수행할 수 있는 귀중한 자산입니다.
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