판매용 중고 LAM RESEARCH 839-101612-883 #293759181
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LAM RESEARCH 839-101612-883은 반도체 제조 공정을 위해 설계된 고도의 etcher/asher 장비입니다. 이 시스템은 반도체 웨이퍼 제작에서 에칭 (etching) 및 클리닝 (cleaning) 프로세스에 대한 정확한 제어 기능과 높은 처리량을 제공합니다. 839-101612-883 은 최첨단 (state-of-the-art) 기술을 탑재하고 있어 반도체 업계의 광범위한 응용프로그램을 위한 다용도 도구다. LAM RESEARCH 839-101612-883의 주요 기능 중 하나는 고급 플라즈마 에칭 기능입니다. 이 장치는 고밀도 플라즈마 소스를 사용하여 정밀도와 균일성이 높은 반도체 웨이퍼의 재료를 에치 (etch) 합니다. "플라즈마 '원 은 반응성 이 있는" 가스 플라즈마' 를 생성 하여 "웨이퍼 '표면 에 있는 물질 과 반응 하여 물질 을 에칭 혹은 제거 한다. 이 기계는 에치 레이트 (etch rate), 선택성 (selectivity) 및 프로파일 (profile) 특성을 정확하게 제어하여 웨이퍼의 복잡한 패턴과 구조를 에칭하는 데 이상적입니다. 에칭 외에도 839-101612-883은 청소 및 스트리핑 프로세스를위한 애싱 기능도 제공합니다. 애싱 (Ashing) 은 플라즈마 환경에서 산화시켜 웨이퍼 표면에서 유기 및 무기 잔기를 제거하는 과정이다. 이 도구에는 온도 조절 (temperature control) 및 가스 흐름 관리 (gas flow management) 기능이 장착되어 웨이퍼 표면의 여러 유형의 잔기 및 오염에 대한 애싱 (ashing) 프로세스를 최적화합니다. LAM RESEARCH 839-101612-883 (LAM RESEARCH 839-101612-883) 은 다양한 반도체 프로세스의 특정 요구 사항을 충족하도록 사용자 정의할 수 있는 구성 가능한 자산입니다. 다양한 가스 화학 물질, 공정 가스 (process gase) 및 RF 전원 설정을 제공하여 에칭 및 애싱 프로세스를 원하는 결과에 맞게 조정합니다. 이 모델은 다양한 웨이퍼 (wafer) 크기와 재료와 호환되므로 다양한 반도체 소자를 유연하게 제조할 수 있습니다. 또한, 839-101612-883은 웨이퍼 처리 자동화, 실시간 모니터링, 프로세스 제어 기능 등의 기능을 갖춘 높은 처리량 생산 환경을 위해 설계되었습니다. 이 장비에는 프로세스 매개변수 (process parameter), 데이터 로깅 (data logging) 및 레시피 관리 (recipe management) 를 정확하게 제어하여 반복 가능하고 일관된 결과를 얻을 수 있는 고급 소프트웨어가 장착되어 있습니다. 이러한 기능은 반도체 제조 공정에서 높은 생산성과 효율성을 보장합니다. LAM RESEARCH 839-101612-883은 견고하고 안정적인 구성 요소로 제작되어 반도체 제조 설비의 장기적인 성능과 안정성을 보장합니다. 이 시스템은 간편한 유지 관리 및 서비스 편의성 (서비스 편의성) 을 위해 설계되었으며, 액세스 가능한 구성 요소와 진단 툴을 사용하여 문제 해결과 사전 예방적 유지 관리를 수행할 수 있습니다. LAM 리서치 (LAM RESEARCH) 는 광범위한 기술 지원 및 서비스 프로그램을 제공하여 장치의 최적 작동을 보장하고 반도체 제조 공정의 가동 시간을 최대화합니다. 결론적으로, 839-101612-883은 반도체 제조를위한 고급 플라즈마 에칭 및 애싱 기능을 제공하는 최첨단 에처/애셔 머신입니다. 높은 정확도, 유연성, 생산성을 자랑하는 이 툴은 경쟁 업계에서 고품질의 반도체 (semiconductor) 장치를 생산하는 데 필수적인 툴입니다.
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