판매용 중고 LAM RESEARCH 839-101612-883 #293664890

LAM RESEARCH 839-101612-883 etcher/asher는 전자 장치 제조를 위해 설계된 고급 처리 도구입니다. 단일 챔버에서 다양한 에칭 (etching) 및 애싱 (ashing) 프로세스를 수행할 수 있는 안정성이 뛰어납니다. 기계는 유전체, SOG 또는 폴리 이마이드 에칭 및 애싱 프로세스에도 적합합니다. 효율적인 설계로 인해 839-101612-883은 단일 프로세싱 챔버에서 플랫 웨이퍼 (flat wafer) 및 활성화 된 웨이퍼 프로세스를 수행 할 수 있습니다. 이 장비에는 유연성과 안정성을 갖춘 여러 전원 공급 장치가 장착되어 있어 다운타임을 최소화하면서 프로세스를 정확하고 신속하게 최적화할 수 있습니다 (영문). LAM RESEARCH 839-101612-883은 정밀한 압력 및 온도 조절 덕분에 안전하고 안정적인 방식으로 에칭 및 애싱 프로세스를 수행 할 수 있습니다. 이 시스템은 또한 CCD 카메라를 사용하여 플라즈마를 좁은 영역으로 집중시킬 수 있으며, 각 프로세스에 대해 전반적으로 더 나은 결과를 얻을 수 있습니다. 이 장치에는 기판 교환을 촉진하기 위해 자동 로드/언로드 머신이 장착되어 있습니다. 유지 보수와 관련하여 839-101612-883은 최소한의 노력이 필요합니다. 이 도구는 문제를 모니터링하고 문제가 발생하면 오류 메시지를 표시하는 자가 진단 (self-diagnosis) 에셋을 제공합니다. 이 기계는 또한 수명 및 성능 향상을 위해 자가 정리 (self-cleaning) 프로세스로 구성된 자가 정비 설계를 가지고 있습니다. 전반적으로 LAM RESEARCH 839-101612-883은 뛰어난 성능과 가동 시간의 신뢰성을 제공하는 고급 etcher/asher입니다. 유전체, SOG, 폴리 이마이드 에칭 및 애싱 (ashing) 과 같은 다양한 에칭 및 애싱 프로세스에 적합합니다. 또한 온도와 압력에 대한 정밀 제어 (precision control) 와 자동 로드/언로드 모델 (automated loading/unloading model) 을 통해 기판 교환이 잦습니다. 마지막으로, 이 장비는 또한 안정성을 극대화하기 위해 자체 진단 및 자체 유지 관리 설계를 제공합니다.