판매용 중고 LAM RESEARCH 839-019090-577 #293670008

LAM RESEARCH 839-019090-577은 향상된 장치 생산을 위해 고급 재료를 에칭하도록 설계된 화학 보조 반응성 이온 에처입니다. 이 제품은 라미네이션 쿼츠 (laminated quartz) 장비 벽을 통해 효율적인 초저전력 작동을 지원하므로, 다른 에치 (etch) 솔루션 비용의 일부분에서 우수한 성능을 제공합니다. 저압 (1.5-2.5 Torr) 에서 고압 (최대 30 Torr) 에 이르는 광범위한 프로세스 매개 변수 내에서 에칭 작업을 수행하도록 설계되었습니다. 839-019090-577 (multi-zone chemistry delivery system) 도 갖추고 있으며, 정밀한 재료 증착을 전달할 수있는 한편, 다양한 프로세스 조건에 즉시 적응하는 기능을 유지합니다. 에처는 또한 플라즈마 추진 장치를 특징으로하며, 빠른 에칭 처리량과 매우 높은 플라즈마 밀도를 가능하게합니다. 이것은 고압 연산 (high-pressure operation) 과 결합하여 에칭 프로세스를 매우 정확하게 제어하여 플라즈마 및 화학 매개변수 변화의 복잡성을 줄입니다. 또한 LAM RESEARCH 839-019090-577은 다양한 크기의 석영 조각, 열 방패 및 웨이퍼 캐리어와 같은 다양한 액세서리를 제공합니다. 접점, 에치 시간 (etch time), 에치 압력 (etch pressure), 플라즈마 반응물 유속 (plasma reactant flow rate) 및 조성 (composition) 과 같은 공정 매개변수를 쉽게 조정하여 뛰어난 균일성과 반복성으로 광범위한 기판 재료를 에칭할 수 있습니다. 에치 균일성 (etch unifority) 과 반복성 (repeatability) 을 극대화하여 긴 프로세스 시간이 지난 후에도 에칭 성능이 향상됩니다. 839-019090-577은 고해상도 접촉구 (High-Aspect Ratio Contact Holes), 구멍을 통한 장치, 트렌치 에칭 등의 고급 재료 에칭 응용 프로그램에 이상적인 선택입니다. 자동 설정 (Automated Setup) 프로세스를 통해 섬세한 쿼츠 시스템을 손상시키지 않고 빠르고 쉽게 Etcher를 설정할 수 있습니다. LAM RESEARCH 839-019090-577 (LAM RESEARCH 839-019090-577) 은 다양한 고급 에칭 어플리케이션에 이상적이며, 시장에서 사용 가능한 다른 에치 솔루션의 비용의 일부에서 우수한 성능을 제공합니다. 다지대 화학 전달 기계의 정밀도와 결합 된 고압 동작 (high-pressure operation) 은 빠른 턴어라운드 (turnaround), 균일성 (uniformity) 및 정확성이 필요한 에칭 프로세스를 위해 신뢰할 수있는 선택입니다.