판매용 중고 LAM RESEARCH 690 #9238723

LAM RESEARCH 690은 스루 웨이퍼 플라즈마 에칭을 위해 설계된 에처/애셔입니다. 반도체 제작 공정 (semiconductor fabrication process) 에 자주 사용되며, 고급 프로세스 단계에 대한 탁월한 정밀도 및 처리량을 달성하는 능력으로 인해 많이 사용됩니다. 690에는 에칭 헤드 (etching head) 가 장착 된 멀티 축 로봇 암 (multi-axis robotic arm) 이 있으며, 높이와 기울기 움직임이 완전히 프로그래밍 가능합니다. 이렇게 하면, 머리 가 여러 가지 좌표 를 통해 움직 일 수 있게 되어, "에칭 '의 정확도 와 균일성 이 향상 된다. 머리의 시야는 0 ~ 90 도이며 평면 필름과 기울어진 필름 모두를 위해 설계되었습니다. 에칭 챔버는 최적의 플라즈마 밀도를 제공하도록 설계되었습니다. 여기에는 고밀도 플라즈마 스트림 (Plasma Stream) 을 생성하는 내부 중심의 샤워 헤드 (Shower Head) 와 에칭 공정의 정확한 제어가 가능한 전자 조절 가능한 가스 분사 시스템 (Gas Injection System) 과 같은 여러 기능이 포함됩니다. LAM RESEARCH 690 (LAM RESEARCH 690) 에는 고급 프로세스 제어 소프트웨어가 포함되어 있어 에칭 프로세스를 정확하게 제어 할 수 있습니다. 여기에는 프로세스 매개변수 최적화, 가스 공급 자동 테스트, 에칭 레이어 실시간 모니터링, 프로세스 이상 자동 경고 등의 기능이 포함됩니다. 이렇게 하면 프로세스가 부드럽고 효율적으로 실행됩니다. 또한 690 은 인터페이스 보드, 컨트롤러, 프로브 등 다양한 액세서리와 기능을 제공합니다. 이를 통해 특정 응용 프로그램에 대한 시스템을 사용자 정의할 수 있습니다. 또한 TCO (총소유비용) 를 낮추면서도 에너지 효율성이 매우 높습니다. 전반적으로 LAM RESEARCH 690 (LAM RESEARCH 690) 은 다양한 기능, 높은 정확도, 낮은 소유 비용 및 탁월한 에칭 기능으로 인해 업계 선두주자가되었습니다. 반도체 업계의 고급 프로세스 단계에 이상적인 선택입니다.