판매용 중고 LAM RESEARCH 590 #9275402

LAM RESEARCH 590은 유전체, 금속 및 산화물 응용에 이상적인 고급 에칭 장비입니다. 이 시스템은 배치 (batch) 및 인라인 (inline) 생산 모두에 적합한 안정적이고 효율적인 에칭 프로세스를 사용자에게 제공하도록 설계되었습니다. 뛰어난 공정 성능으로, 590 개를 사용하여 유리, 실리콘, 금속 등 다양한 재료를 가져올 수 있습니다. LAM RESEARCH 590 (LAM RESEARCH 590) 에는 다양한 공정 압력 및 온도를 처리하도록 설계된 강력한 공정 챔버가 있습니다. 이 장치에는 에치 레이트 (etch rate) 를 정확하게 제어하는 데 이상적인, 대규모의 통합 소스플레이트 구성이 함께 제공됩니다. 내장된 프로세스 알고리즘 및 프로세스 최적화 (process optimization) 기능을 통해 사용자는 프로세스 매개변수를 실시간으로 조정할 수 있습니다. 컴퓨터에는 레시피 구성, 프로세스 매개변수 입력, 에칭 진행 상태 모니터링 등에 사용할 수 있는 고급 사용자 인터페이스 (advanced user interface) 가 포함되어 있습니다. 590 에는 대상 재료를 에치할 수 있는 최대 350W 전력을 공급할 수 있는 고성능 HF RF 발전기가 장착되어 있습니다. 고유한 이중 뷰 광학 도구 (Dual-View Optical Tool) 는 대상 재료 인터페이스에서 에치 레이트를 모니터링하는 데 사용되며, 가스 흐름 (Gas Flow) 자산은 가스 전달 및 프로세스 흐름을 정확하게 제어합니다. 이 모델은 에칭 속도 (etching rate) 와 증착률 (deposition rate) 을 모두 집적된 정밀도로 제어하여 최고 수준의 프로세스 반복성을 제공하도록 설계되었습니다. LAM RESEARCH 590은 유전체 및 금속 증착에 대한 향상된 균일성을 제공하여 결함이없는 장치를 제공합니다. 이 장비는 입자 생성을 최소화하고 프로세스 처리량을 활용하는 저온 로드 잠금 (Lock Temperature Load Lock) 기능을 갖추고 있습니다. 첨단 공정 제어 및 공정 최적화 기능을 갖춘 590 (590) 은 유전체, 금속 및 산화물 재료의 에칭 및 증착에 이상적인 시스템입니다.