판매용 중고 LAM RESEARCH 590 #9232890

LAM RESEARCH 590은 웨이퍼, 기판, PCB, 금속 및 플라스틱을 포함한 다양한 재료의 정밀 에칭 및 재싱을 위해 설계된 고성능 에처/애셔입니다. 590은 고해상도 흑백 (Monochromator) 과 고급 프로세스 제어 시스템을 갖춘 완전 자동화 장비입니다. LAM RESEARCH 590은 멀티티어 사전 프로그래밍 설정을 쉽게 사용할 수 있도록 처리량을 극대화할 수 있도록 설계되었습니다. 590 은 운영 체제의 개입과 신뢰할 수 있는 결과를 최소화하면서 사용자 인터페이스를 단순화하여 작은 설치 공간 (small-footprint) 의 통합 서브시스템을 사용합니다. LAM RESEARCH 590은 다양한 기판 크기를 수용 할 수있는 단일 웨이퍼 처리 플랫폼입니다. 2 개의 플라즈마 소스, 2 개의 진공 단계, 온도가 내장 된 멀티 포인트 센서 및 샘플 플래튼이 장착되어 있습니다. 또한, 590 에는 보조 가스 전달 장치가 장착되어 있으며, 다양한 프로세스 가스를 제공합니다. LAM LAM RESEARCH 590의 고급 프로세스 제어 머신은 대상 표면에서 고정밀 에칭 및 재싱을 보장합니다. 내장된 PID 조정을 통해 590은 에치 (etch) 및 애쉬 (ash) 매개변수에 대한 엄격한 제어를 유지하도록 최적화되어 있으며, 여기에는 +/- 0.001 mm의 공차를 사용하여 레이어 두께를 설정할 수 있습니다. 또한 LAM RESEARCH 590은 저주기 시간 (최대 15000 웨이퍼/시간) 및 높은 균일 배치 프로세스를 실행할 수 있습니다. LAM 590은 향상된 안정성과 효율성을 제공하도록 설계되었습니다. 24/7 유지 보수 일정 (Maintenance Schedule) 이 수록되어 있어 장애를 신속하게 감지하고 진단을 통해 간편하게 문제를 해결할 수 있습니다. 또한, LAM RESEARCH 590 은 장기 데이터 아카이빙 기능을 제공하여, 시간이 지남에 따라 프로세스의 상태를 확인할 수 있습니다. 590은 최고의 생산성, 정확성 및 운영 효율성을 제공하도록 설계되었습니다. 첨단 프로세스 제어 (process control) 및 자동 (automated) 툴을 통해 정밀 에칭 및 재싱이 필요한 생산 요구 사항에 적합합니다. LAM RESEARCH 590은 맞춤형 프로젝트와 마이크로 일렉트로닉, 옵토 전자, 데이터 스토리지 및 반도체 장치의 대규모 배치 생산을위한 신뢰할 수있는 솔루션입니다.