판매용 중고 LAM RESEARCH 590 #9226293

LAM RESEARCH 590은 오늘날 시장에서 가장 발전된 에처 및 애셔 중 하나입니다. 이 장비 는 조그마 한 부분 을 극히 정밀도 로 에치 (etch) 하거나 애셔 (asher) 시키기 위해 설계 되었으며, 이 때문 에 제조사 들 은 보다 시간 에 따라 복잡 하고 정확 한 부품 을 생산 할 수 있게 되었다. 시스템은 Cl2 또는 O2 플라즈마 소스를 사용하여 부품에 대한 최소한의 손상으로 필요한 에칭 (etching) 또는 애싱 (ashing) 결과를 생성합니다. 이 장치는 전통적인 에칭 및 애싱 방법에 비해 몇 가지 장점을 제공합니다. 동시에 에치 (etch) 와 애셔 (asher) 가 가능하여 다운타임이 크게 줄어 듭니다. 머신은 또한 패턴 에칭 (etching) 및 애싱 (ashing) 을 수행할 수 있으며, 특정 구성에서 부품을 에칭 및/또는 애싱 할 수 있습니다. 이것은 복잡하고 정확한 패턴을 가진 부품을 생성하여 마이크로 일렉트로닉 장치 (microelectronic device) 와 같은 고급 응용 프로그램에 적합합니다. 이 도구에는 또한 시간, 압력, 흐름, 온도 및 기타 프로세스 변수를 모니터링하고 제어하여 프로세스 성능 및 반복성을 최적화할 수있는 닫힌 루프 제어 (closed loop control) 에셋이 포함되어 있습니다. 이 모델에는 직관적인 소프트웨어 장비 (Software Equipment) 가 잘 갖추어져 있으며, 운영자는 사용자의 요구 사항에 따라 프로세스를 빠르고, 쉽게 사용자 정의하고, 결과를 얻을 수 있습니다. 이 시스템은 또한 뛰어난 유연성을 제공하여 여러 작업 생성 옵션 중 하나를 선택할 수 있습니다. 즉, 부품은 포토리스트 (photoresist) 로, 또는 패턴화 (patterning) 를 사용하거나 사용하지 않고도 에치 (ashed) 할 수 있습니다. 590 은 간편한 에칭 (etching) 과 적재 챔버 (loading chamber) 와 오염 물질로부터 보호하기 위해 가압식 cryotrap (pressurized cryotrap) 을 통합하여 사용하기 쉽고 유지 관리하도록 설계되었습니다. 이 기계는 또한 최대 30 개의 다른 챔버 레시피 (chamber recipe) 로 프로그래밍 될 수 있으며, 다양한 부품을 생산하는 데 적합합니다. 전반적으로 LAM RESEARCH 590 (LAM RESEARCH 590) 은 현대 제조 공정에 이상적인 고급 기능과 기능을 제공하는 뛰어난 에처 (etcher) 및 애셔입니다. 또한 복잡하고, 정확한 모양과 패턴을 만들 수 있으며, 다양한 작업 생성 (job creation) 및 사용자 정의 (customization) 옵션을 제공합니다.