판매용 중고 LAM RESEARCH 590 #9226108

LAM RESEARCH 590 Etcher/Asher는 표면 코팅 및 수정을위한 에칭 및 퇴적 물질을위한 다목적 증착 도구입니다. 특허를받은 플라즈마 생성 '다이아몬드 창 (diamond window)' 기술을 사용하여 정확한 에치를 만들어 사용자가 정확한 사양에 맞게 금속 표면을 설계하고 형성 할 수 있습니다. 높은 처리량과 정확한 정확도를 유지하면서 복잡한 표면 수정 (surface modification) 작업을 처리할 수 있는 비용 효율적인 솔루션을 제공합니다. 590 은 소형 크기로, 실험실과 제조 환경에 모두 적합합니다. 정확하고 반복 가능한 증착 프로세스를 제공하여 고정밀 표면 수정 및 지형 튜닝을 용이하게합니다. 주요 특징으로는 압력 및 온도 조절, 에치 속도 및 레이어 두께 쉽게 조정, 빠르게 변경 가능한 노즐 크기, 다양한 호환 가능한 프로세스 가스 등이 있습니다. LAM RESEARCH 590 (LAM RESEARCH 590) 은 고성능 가스 시스템을 갖추고 있으며, 고성능 프로세싱에만 최적화되어 여러 가스원과 배송 시스템을 지원할 수 있습니다. 이 에처는 스테인리스 스틸 (stainless steel) 과 알루미늄 (aluminum) 과 같은 블렌드 프로파일이 다른 금속뿐만 아니라 고순도 재료를 에칭 할 수 있습니다. 또한 590 은 고해상도 멀티 뷰 (multi-view) 광학 시스템으로 증착 진행 상황을 빠르고 정확하게 감지하여 샘플 평가의 필요성을 없앨 수 있습니다. LAM RESEARCH 590 (LAM RESEARCH 590) 은 통합 진단 및 제어 시스템을 사용하여 손쉬운 유지 관리 및 유연성을 제공하도록 설계되었습니다. 이 시스템에는 디지털 히터가 장착 된 멀티 존 (Multi-Zone) 웨이퍼 척 (Wafer Chuck), 고속 광로 및 프로세스 및 컴포넌트 제어를 위한 프로그래밍 가능한 디지털 로직이 장착되어 있습니다. 또한 고급 소프트웨어 아키텍처 (Advanced Software Architecture) 는 프로세스 제어 및 최적화를 통해 반복 가능하고 안정적인 성능을 보장합니다. 590 의 독특 한 특징 은 "에칭 '과 증착 과정 이 진행 되는 동안 기판" 테이블' 을 움직 이는 능력 이다. 이렇게 하면 프로세스의 결과를 정확하게 평가하고, 필요에 따라 매개변수를 실시간으로 조정할 수 있습니다. 또한 TCO (투자 비용) 절감, 운영 비용 절감, 유지 보수 등 TCO (총 소유 비용) 를 절감할 수 있도록 설계되었습니다.