판매용 중고 LAM RESEARCH 590 #9027423

LAM RESEARCH 590은 반도체 장치 제조에 사용되는 에처/애셔 장비입니다. 최대 300mm 직경의 웨이퍼를 처리 할 수 있습니다. 590 은 이중 동굴 "UniClave" 설계를 통해 한 번에 2 배의 웨이퍼 수를 처리하여 생산성을 향상시킵니다. 이 시스템은 분산 난방 장치, 고급 챔버 형상, 고효율 펌핑 설계 덕분에 탁월한 열 성능과 낮은 증착율을 제공합니다. 또한 LAM RESEARCH 590은 전기 역학적 증착 (epd) 기술을 사용하여 공정 주기 동안 에치 패턴 및 두께를 정확하게 제어 할 수 있습니다. 고급 (advanced) 기능을 통해 고급 기술 노드와 애플리케이션을 처리하는 데 이상적인 시스템입니다. 이 툴은 자동 로드 및 언로드 기능을 제공하며, 단일/다중 웨이퍼 구성으로 로드할 수 있습니다. 또한 590에는 고급 웨이퍼 매핑 에셋이 포함되어 있어 프로세스 제어가 정확합니다. 진공 수준 모니터 (vacuum level monitor) 는 기판 표면에 대한 잠재적 손상 연산자에게 경고하도록 구성됩니다. 또한 LAM RESEARCH 590에는 듀얼 인라인 (in-line) 프로그래밍 및 진단 기능이 포함되어 있어 빠르고 정확한 프로세스 사이클 설정 및 조정이 가능합니다. 590 에처에는 블랭킷 (blanket) 및 라인 엔딩 (line-ending) 프로세스 모두에 통합 고성능 GaAs etcher가 장착되어 있으며, 장치 표면에 대한 손상이 최소화됩니다. 마지막으로 LAM RESEARCH 590 Etcher/Asher 모델은 습식/건조 공정 주기를 사용하여 열 스트레스를 줄이고 전체 수율을 높입니다. 이를 통해 고급 기술 노드 및 애플리케이션에 이상적인 후보가 됩니다. 또한 높은 처리 속도 (Throughput Rate) 로 정확하고 고품질 (ech) 을 제공하는 강력한 솔루션을 제공하여, 반도체 제조 업계에서 경쟁력을 유지해야 하는 정확성과 생산성을 사용자에게 제공합니다.