판매용 중고 LAM RESEARCH 580 #9268110

LAM RESEARCH 580 (LAM RESEARCH 580) 은 집적 회로 제조업체가 보다 효율적이고 정확한 방식으로 에치 (etcher) 및 애쉬 (ashed) 계층을 처리 할 수 있도록 설계된 에처/애셔 장비입니다. 이 시스템은 다양한 업종의 어플리케이션의 고품질 생산을 보장하기 위해 고급 레벨 검사 (Advanced Level Inspection), 에치 (Etch) 및 애쉬 (Ash) 기술의 프로세스 뉘앙스로 설계되었습니다. 리소그래피, etch, etchback, metrology 및 ash를 포함한 여러 프로세스 단계를 수행 할 수있는 통합 단위를 제공합니다. 이 기계의 처리 면적은 330mm x 330mm이며, 직경이 최대 500mm 인 와퍼 (wafer) 배열을 수용 할 수 있습니다. 580은 기능이 풍부하고, 효율적이며, 정확한 모션 제어 기능을 갖추고 있으며, 위치, 속도, 힘 제어 기능을 제공하는 고성능 리니어 모터로 구동되며, 정밀도, 안정성 모두에서 최상의 성능을 제공합니다. 프로세스 전반에 걸쳐 정밀도와 정확도를 향상시키도록 설계된 자동 웨이퍼 (automated wafer) 정렬 도구도 포함되어 있습니다. 이 자산은 또한 프로세스 유연성을 극대화하기 위해 다양한 에치 (etch) 및 애쉬 (ash) 화학 물질을 제공합니다. 또한 LAM RESEARCH 580에는 OPC Pattern Processing, Arc Stripe-Specific Sources 및 Position Error Correction과 같은 여러 독점 레시피 및 프로세스 도구가 있습니다. 이러한 도구는 에치 정확도와 처리량을 향상시키는 데 기여합니다. 이 모델은 또한 최첨단 광학, 정전식 및 저항 센서와 같은 고급 도량형 및 검사 도구를 사용하여 웨이퍼 품질을 극대화하고 폐기물 및 재 작업을 최소화합니다. 또한, 이 장비에는 내부 화학 관리 시스템, 비활성 가스 퍼지 (inert gas purge), 안전한 격리 옵션 등 다양한 안전 및 환경 기능이 장착되어 있습니다. 이러한 기능은 안전하고 친환경적인 운영을 보장합니다. 580 은 다양한 애플리케이션의 프로세스 요구사항을 충족하도록 설계된, 신뢰할 수 있는 기능이 풍부한 장치입니다. 사용하기 쉽고 경제적인 석판화 (lithography), 에치 (etch), 재 (ash), 도량형 (metrology) 프로세스 단계를 가능하게 하는 도구 집합의 기능과 도구를 제공할 수 있습니다.