판매용 중고 LAM RESEARCH 496B #9268074

LAM RESEARCH 496B는 다결정 웨이퍼뿐만 아니라 monocrystalline의 에칭 및 ashing에 사용되는 etcher/asher입니다. 이 "플랫폼 '은" 패턴' 정의 를 위해, 그리고 산화물 층 내 의 특정 한 구조 를 만들기 위해, 광필름 (photoresist) 과 같은 여러 가지 "필름 '층 을 에치' 하는 데 사용 된다. 이 유형의 에처/애셔 (etcher/asher) 는 원자로 챔버 내에서 가스 분자를 흥분시키기 위해 전자기파를 사용하여 분자 분해 및 반응을 일으켜 에칭 또는 애싱 과정을 초래한다. 496B에는 스테인리스 스틸 (stainless steel) 로 만들어진 챔버가 있으며, 이는 시간이 지남에 따라 부식에 강하도록 설계되었습니다. 챔버는 DC 전원으로 구동됩니다. 이 etcher/asher는 정확하고 안정적이며 반복 가능한 프로세스 결과를 제공하도록 설계되었습니다. 웨이퍼 (wafer) 는 챔버 내에서 다양한 플루오린-기반 화학 물질에 노출되어, 고도로 선택 가능하고, 가공되는 특정 기질의 요구에 맞게 맞춤 될 수있는 에칭 (etching) 과정을 초래한다. 또한 내장형 가스 모니터링 장비, 안전 인터 록 (Safety Interlock) 시스템 등 다양한 안전 기능이 있습니다. LAM RESEARCH 496B는 직경이 최대 12 인치 인 웨이퍼를 에칭/애싱 할 수 있으며 배치당 최대 8 개의 웨이퍼를 처리 할 수 있습니다. 그것 은 "와퍼 '를" 카세트' 에서 "에처 '/" 애셔 '로 그리고 다시 되돌릴 수 있는 자동" 웨이퍼' 전송 장치 를 갖추고 있다. 기계에는 에칭/애싱 (etching/ashing) 매개변수를 사용자 정의할 수있는 직관적인 소프트웨어가 있는 제어 컴퓨터가 있습니다. 이 에처/애셔 (etcher/asher) 는 최소한의 폐기물과 다운타임으로 최대의 프로세스 유연성과 재생성을 제공하도록 설계되었습니다. 이 도구는 프로세스 정확성과 재현성, 안전 기준 (Safety Standard) 을 보장하기 위해 광범위한 테스트와 검증을 거쳤습니다. 496B는 실험실 등급의 정확성과 성능을 제공하여 높은 수율과 낮은 소유 비용을 보장합니다.