판매용 중고 LAM RESEARCH 490B #293829120

LAM RESEARCH 490B는 실리콘 및 유리 기판에서 고정밀 마이크로 구조를 제작하도록 설계된 습식 화학 에칭 장비입니다. 에칭 (etching) 과정 중 액체 용액의 증발 및 직접 접촉으로 인한 물 축적 및 퇴적물 오염을 방지하는 활성 건조 스테이션 (Active Drying Station) 이 특징입니다. 이 시스템은 제어 캐비닛, 에칭 탱크 및 투약 펌프로 구성됩니다. 제어 캐비닛에는 LCD 디스플레이와 etch 프로세스 프로그래밍을 위한 번호 기호 키패드가 있습니다. 에칭 탱크 (etching tank) 는 적절한 에친트 제거를 위해 바닥이 테이퍼 된 스테인리스 스틸 컨테이너입니다. "에칭 탱크 '에 연결 되어 있는 투약" 펌프' 는 조절 된 양 의 에친트 '용액 을 분배 하는 데 사용 된다. LAM RESEARCH 490/B는 -40 ° ~ 80 ° C의 온도에서 식각 할 수 있으며, 최대 200mm의 기질을 처리 할 수 있습니다. 이 장치에는 표면에 균일 한 에칭과 에치 후 클리닝 (post-etch cleaning) 을위한 자동 소니션 머신 (sonication machine) 과 표면에 균일 한 에칭을 보장하는 7äm 정밀 노즐도 포함되어 있습니다. 490B에는 또한 APST (Advanced Plasma Systems Technology) 모듈이 장착되어 있어, 에치 균일성을 더욱 향상시키고, 에치 속도 변화를 줄이고, 에칭 시간을 밀리초 이내로 제어 할 수 있습니다. 또한 490/B는 압력 완화 밸브, 비상 정지 버튼, 가청 경보 및 온도 센서와 같은 다양한 안전 기능을 제공하여 최적의 에칭 조건을 유지하고 운영자 안전을 보장합니다. LAM LAM RESEARCH 490B 에칭 도구는 폴리머, 실리콘 및 유리 기판에서 고정밀 마이크로 구조를 제조하기위한 이상적인 선택입니다.