판매용 중고 LAM RESEARCH 490 #9399666

LAM RESEARCH 490 (LAM RESEARCH 490) 은 빠른 주기와 향상된 처리량으로 대용량 생산을 위해 설계된 고급 etcher/asher 장비입니다. 시스템은 고정밀 스루두께 에칭 또는 애싱에 이상적입니다. 다이렉트 드라이브 고속 생성 모터는 뛰어난 반복성, 처리량 및 수율을 제공합니다. 490 은 다운타임을 최소화하고 성능을 극대화하도록 구성된 매우 빠르고 안정적인 장치입니다. LAM RESEARCH 490은 플라즈마 챔버 및 쿼츠 또는 세라믹 에치/애쉬 마스크를 사용하여 플라즈마 에칭/애싱 기술을 사용하며, 이는 DRAM ILD etch 또는 MEMS Type I etch와 같은 응용 분야에 이상적입니다. 개방형 프레임 설계는 알루미늄 채널 (aluminum channel) 을 내장하여 빠르고 유연한 tool-to-wafer platen 보드 교환을 위해 최적화된 도구 액세스를 보장합니다. 490은 대용량 생산 및 하위 챔버 로드/언로드, 기판 전송 암 (Substrate Transfer Arm), 자동 마스킹 (Automatic Masking) 과 같은 고급 기판 처리 기능을 통해 운영 생산성 향상을 위한 이상적인 솔루션입니다. LAM RESEARCH 490은 또한 고급 프로세스 모니터링 머신, 강력한 진공 도구 및 일관된 에치/애쉬 품질을 보장하는 자동 플라즈마 튜닝 알고리즘을 갖추고 있습니다. 또한, 에셋은 빠른 플래튼 보드 교환 (rapid platen board exchange) 과 다양한 기판 크기와 모양으로 최대 반복성을 위해 설계되었습니다. 가장 도전적인 기질의 균일, 고정밀 에칭 또는 재싱의 경우 490 etcher/asher가 이상적인 선택입니다. 일정한 플라즈마 매개변수, 개선된 균일 성 및 향상된 처리량을 갖춘 LAM RESEARCH 490은 거친 에치 (etch) 또는 애쉬 (ash) 작업에 이상적인 선택입니다.