판매용 중고 LAM RESEARCH 490 #9277853

LAM RESEARCH 490 etcher/ascher는 반도체 웨이퍼에서 박막 증착을 효율적으로 생산하기 위해 설계된 고성능 화학 증기 증착 (CVD) 장비입니다. 이 시스템은 유전체, 폴리머, 반도체 재료를 높은 수준의 정확성과 반복성으로 증착 할 수 있습니다. 490은 간편한 그래픽 사용자 인터페이스 (Graphical User Interface) 와 직관적인 작동 장치 (Operating Unit) 를 제공하여 사용자 입력을 최소화하고 처리량을 극대화합니다. 2 개의 독립적 인 증착실을 갖춘 LAM RESEARCH 490 (LAM RESEARCH 490) 은 동일한 기판에 2 개의 다른 재료를 동시에 증착 할 수있는 기능을 제공합니다. 따라서 복잡한 구조를 빠르고 효율적으로 만들 수 있습니다. 490은 저가의 석영 원자로를 사용하여 기질을 노출시키지 않고 폴리머, 유전체 및 반도체 재료의 화학 증기 증강을 수행합니다. 원자로에는 내부 히터 (heater) 가 장착되어 있어 온도 조절 (temperate control) 과 가스 흐름 (gas flow) 관리가 정확하여 고품질 레이어의 재생성이 뛰어납니다. 이것은 예금에서 예금까지 뛰어난 균일성과 반복성을 보장합니다. LAM RESEARCH 490은 복잡한 재료의 증착을위한 다양한 프로그래밍 가능한 프로세스 매개 변수를 제공합니다. 기판 온도, 압력, 가스 유량, 챔버 압력, 가스 유형 등의 매개변수를 조정하여 프로세스를 최적화 할 수 있습니다. 또한, 이 기계는 비용 효율적인 대량 생산을 촉진하는 에어 쉴드 (air shield) 설계를 제공하며, 웨이퍼 오염 위험을 줄입니다. 490은 또한 공정 모니터링 시스템 (process monitoring systems) 을 제공하여 증설 균일성을 보장하며, 값비싼 공정 모니터링 장비가 필요하지 않습니다. 내장형 배기 도구를 통해 챔버 (chamber) 소진을 신중하게 관리하여 프로세스 제어를 개선하고 구성 요소 수명을 연장할 수 있습니다. 전반적으로 LAM RESEARCH 490 etcher/ascher는 높은 수준의 성능과 유연성을 제공하여 반도체 웨이퍼에 박막 증착과 관련된 모든 응용 프로그램에 이상적입니다. 강력한 기능과 비용 효율성을 갖춘 490은 수많은 박막 증착 (Thin Film Deposition) 유형의 빠르고 고품질 생산에 이상적인 솔루션입니다.